微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2008年
1期
54-58
,共5页
化学气相沉积%等离子体%溅射%离子轰击
化學氣相沉積%等離子體%濺射%離子轟擊
화학기상침적%등리자체%천사%리자굉격
用CH4,H2和NH3为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积在沉积有碳膜的Si衬底上制备了碳纳米尖端.用原子力显微镜和微区Raman光谱仪对碳膜进行了表征,结果表明,碳膜是粗糙不平的非晶碳膜.用扫描电子显微镜研究了不同条件下生长的碳纳米尖端,结果表明,碳纳米尖端的形成与离子的轰击有关.根据实验结果,利用离子沉积和溅射等有关的理论建立了碳纳米尖端形成的三维理论模型,并利用该模型对实验结果进行了解释,它将对控制碳纳米尖端的生长和应用研究有很大的意义.
用CH4,H2和NH3為反應氣體,利用等離子體增彊熱絲化學氣相沉積在沉積有碳膜的Si襯底上製備瞭碳納米尖耑.用原子力顯微鏡和微區Raman光譜儀對碳膜進行瞭錶徵,結果錶明,碳膜是粗糙不平的非晶碳膜.用掃描電子顯微鏡研究瞭不同條件下生長的碳納米尖耑,結果錶明,碳納米尖耑的形成與離子的轟擊有關.根據實驗結果,利用離子沉積和濺射等有關的理論建立瞭碳納米尖耑形成的三維理論模型,併利用該模型對實驗結果進行瞭解釋,它將對控製碳納米尖耑的生長和應用研究有很大的意義.
용CH4,H2화NH3위반응기체,이용등리자체증강열사화학기상침적재침적유탄막적Si츤저상제비료탄납미첨단.용원자력현미경화미구Raman광보의대탄막진행료표정,결과표명,탄막시조조불평적비정탄막.용소묘전자현미경연구료불동조건하생장적탄납미첨단,결과표명,탄납미첨단적형성여리자적굉격유관.근거실험결과,이용리자침적화천사등유관적이론건립료탄납미첨단형성적삼유이론모형,병이용해모형대실험결과진행료해석,타장대공제탄납미첨단적생장화응용연구유흔대적의의.
