核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2003年
10期
771-775
,共5页
魏仑%王长征%蔡英文%李爱国%张桂林%王松有%李建国
魏崙%王長徵%蔡英文%李愛國%張桂林%王鬆有%李建國
위륜%왕장정%채영문%리애국%장계림%왕송유%리건국
磁光芯片,组合离子注入,Fe-(Co6Ag94)颗粒膜,克尔效应
磁光芯片,組閤離子註入,Fe-(Co6Ag94)顆粒膜,剋爾效應
자광심편,조합리자주입,Fe-(Co6Ag94)과립막,극이효응
采用二分掩膜技术向溅射沉积的Co6Ag94薄膜中组合注入Fe离子,制备成具有不同Fe含量的16单元Fe-(Co6Ag94)颗粒膜磁光芯片.对制备态和退火态的Fe-(Co6Ag94)颗粒膜的物相进行了XRD研究.不同退火温度下,物相的演变反映出了退火过程中Co、Fe相和FeCo相纳米微晶的析出长大过程.采用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面的研究结果表明,在退火过程中形成了嵌于基底中的纳米颗粒相.对制备态和不同温度退火后芯片各单元的磁光性能进行了测量,结果表明极向Kerr旋转角θk随着注入Fe含量的增加而增大,这可归因于颗粒膜中铁磁相的增多.在500℃以下,随着退火温度的增加,Fe-(Co6Ag94)颗粒膜的克尔磁光效应增加.对不同温度退火的样品进行穆斯堡尔谱测量,结果证明一定尺寸纳米Fe微晶颗粒的出现是磁光效应提高的主要原因之一.
採用二分掩膜技術嚮濺射沉積的Co6Ag94薄膜中組閤註入Fe離子,製備成具有不同Fe含量的16單元Fe-(Co6Ag94)顆粒膜磁光芯片.對製備態和退火態的Fe-(Co6Ag94)顆粒膜的物相進行瞭XRD研究.不同退火溫度下,物相的縯變反映齣瞭退火過程中Co、Fe相和FeCo相納米微晶的析齣長大過程.採用原子力顯微鏡(AFM)對薄膜錶麵的研究結果錶明,在退火過程中形成瞭嵌于基底中的納米顆粒相.對製備態和不同溫度退火後芯片各單元的磁光性能進行瞭測量,結果錶明極嚮Kerr鏇轉角θk隨著註入Fe含量的增加而增大,這可歸因于顆粒膜中鐵磁相的增多.在500℃以下,隨著退火溫度的增加,Fe-(Co6Ag94)顆粒膜的剋爾磁光效應增加.對不同溫度退火的樣品進行穆斯堡爾譜測量,結果證明一定呎吋納米Fe微晶顆粒的齣現是磁光效應提高的主要原因之一.
채용이분엄막기술향천사침적적Co6Ag94박막중조합주입Fe리자,제비성구유불동Fe함량적16단원Fe-(Co6Ag94)과립막자광심편.대제비태화퇴화태적Fe-(Co6Ag94)과립막적물상진행료XRD연구.불동퇴화온도하,물상적연변반영출료퇴화과정중Co、Fe상화FeCo상납미미정적석출장대과정.채용원자력현미경(AFM)대박막표면적연구결과표명,재퇴화과정중형성료감우기저중적납미과립상.대제비태화불동온도퇴화후심편각단원적자광성능진행료측량,결과표명겁향Kerr선전각θk수착주입Fe함량적증가이증대,저가귀인우과립막중철자상적증다.재500℃이하,수착퇴화온도적증가,Fe-(Co6Ag94)과립막적극이자광효응증가.대불동온도퇴화적양품진행목사보이보측량,결과증명일정척촌납미Fe미정과립적출현시자광효응제고적주요원인지일.
