半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2005年
6期
1229-1233
,共5页
微开关%MEMS%接触电阻%粘连效应
微開關%MEMS%接觸電阻%粘連效應
미개관%MEMS%접촉전조%점련효응
建立了一个微开关接触电阻模型.模型将粗糙的触头表面理想化为多微丘结构,并考虑了表面粘连效应,给出了接触电阻与接触力之间的变化关系.结果显示,在低接触力下,粘连效应十分重要.粘连模型与Majumder等人所建立的模型以及实验值的比较结果表明,粘连效应可以用来解释弹性模型与实验之间的偏差.
建立瞭一箇微開關接觸電阻模型.模型將粗糙的觸頭錶麵理想化為多微丘結構,併攷慮瞭錶麵粘連效應,給齣瞭接觸電阻與接觸力之間的變化關繫.結果顯示,在低接觸力下,粘連效應十分重要.粘連模型與Majumder等人所建立的模型以及實驗值的比較結果錶明,粘連效應可以用來解釋彈性模型與實驗之間的偏差.
건립료일개미개관접촉전조모형.모형장조조적촉두표면이상화위다미구결구,병고필료표면점련효응,급출료접촉전조여접촉력지간적변화관계.결과현시,재저접촉력하,점련효응십분중요.점련모형여Majumder등인소건립적모형이급실험치적비교결과표명,점련효응가이용래해석탄성모형여실험지간적편차.
