失效分析与预防
失效分析與預防
실효분석여예방
FAILURE ANALYSIS AND PREVENTION
2007年
4期
50-54
,共5页
三极管%脱键%腐蚀%Kirkendall效应
三極管%脫鍵%腐蝕%Kirkendall效應
삼겁관%탈건%부식%Kirkendall효응
本文结合某三极管内引线键合失效的实例,利用扫描电镜、能谱分析等手段,研究了三极管Au-Al键合系统中一种典型的脱键失效模式,结果表明,在器件内部水汽及电场、温度的共同作用下,从由于Kirkendall效应而在Au-Al键合界面间形成的,且与器件内部气氛相通的微裂纹处发生Al的电化学腐蚀,由于腐蚀产物的体积膨胀效应,最终导致发射极内引线与引线柱之间脱键失效.建议严格控制器件的生产工艺环境以及内引线的键合工艺,防止类似失效故障的发生.
本文結閤某三極管內引線鍵閤失效的實例,利用掃描電鏡、能譜分析等手段,研究瞭三極管Au-Al鍵閤繫統中一種典型的脫鍵失效模式,結果錶明,在器件內部水汽及電場、溫度的共同作用下,從由于Kirkendall效應而在Au-Al鍵閤界麵間形成的,且與器件內部氣氛相通的微裂紋處髮生Al的電化學腐蝕,由于腐蝕產物的體積膨脹效應,最終導緻髮射極內引線與引線柱之間脫鍵失效.建議嚴格控製器件的生產工藝環境以及內引線的鍵閤工藝,防止類似失效故障的髮生.
본문결합모삼겁관내인선건합실효적실례,이용소묘전경、능보분석등수단,연구료삼겁관Au-Al건합계통중일충전형적탈건실효모식,결과표명,재기건내부수기급전장、온도적공동작용하,종유우Kirkendall효응이재Au-Al건합계면간형성적,차여기건내부기분상통적미렬문처발생Al적전화학부식,유우부식산물적체적팽창효응,최종도치발사겁내인선여인선주지간탈건실효.건의엄격공제기건적생산공예배경이급내인선적건합공예,방지유사실효고장적발생.