微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
6期
358-361
,共4页
吝海锋%何洪涛%卞玉民%杨拥军
吝海鋒%何洪濤%卞玉民%楊擁軍
인해봉%하홍도%변옥민%양옹군
碰撞开关%微电子机械系统%特种运输%无源%万向
踫撞開關%微電子機械繫統%特種運輸%無源%萬嚮
팽당개관%미전자궤계계통%특충운수%무원%만향
采用MEMS体Si加工工艺和圆片级封装技术,开发了一种基于特种运输中的新型无源MEMS万向碰撞开关.开关选用弹簧-质量-阻尼的典型碰撞结构,对惯性加速度计敏感,以碰撞接触的形式提供导通电阻信号,并拥有500 g径向360°和1 000 g纵向碰撞触发,单个器件可以实现多个器件的功能.经过仿真设计和工艺研究,最终完成了开关的制作,封装后体积后为6.6 mm×5 mm×2.4 mm.经测试表明开关实现了初始的设计阈值,导通电阻约10 Ω,导通时间约10 μs,验证了抗5 000 g冲击能力,它具有体积小、重量轻、高可靠、低成本,可反复使用等特点,在可靠性跌落试验、汽车安全碰撞试验和飞行器上具有广泛的应用前景.
採用MEMS體Si加工工藝和圓片級封裝技術,開髮瞭一種基于特種運輸中的新型無源MEMS萬嚮踫撞開關.開關選用彈簧-質量-阻尼的典型踫撞結構,對慣性加速度計敏感,以踫撞接觸的形式提供導通電阻信號,併擁有500 g徑嚮360°和1 000 g縱嚮踫撞觸髮,單箇器件可以實現多箇器件的功能.經過倣真設計和工藝研究,最終完成瞭開關的製作,封裝後體積後為6.6 mm×5 mm×2.4 mm.經測試錶明開關實現瞭初始的設計閾值,導通電阻約10 Ω,導通時間約10 μs,驗證瞭抗5 000 g遲擊能力,它具有體積小、重量輕、高可靠、低成本,可反複使用等特點,在可靠性跌落試驗、汽車安全踫撞試驗和飛行器上具有廣汎的應用前景.
채용MEMS체Si가공공예화원편급봉장기술,개발료일충기우특충운수중적신형무원MEMS만향팽당개관.개관선용탄황-질량-조니적전형팽당결구,대관성가속도계민감,이팽당접촉적형식제공도통전조신호,병옹유500 g경향360°화1 000 g종향팽당촉발,단개기건가이실현다개기건적공능.경과방진설계화공예연구,최종완성료개관적제작,봉장후체적후위6.6 mm×5 mm×2.4 mm.경측시표명개관실현료초시적설계역치,도통전조약10 Ω,도통시간약10 μs,험증료항5 000 g충격능력,타구유체적소、중량경、고가고、저성본,가반복사용등특점,재가고성질락시험、기차안전팽당시험화비행기상구유엄범적응용전경.
