CAJ | 학술논문

采用400 mm口径,12 mm厚的球面反射镜进行了主动光学实验.实验镜支撑结构由背部12个主动支撑点和3个固定支撑点组成.主动支撑点用压电陶瓷促动器和压力传感器组成力促动器,用于控制实验镜面形;固定支撑点用于控制实验镜的定位.实验中通过干涉仪测试镜面面形.分别测量出反射镜在单独一个促动器施加单位作用力前后的镜面面形,求出这两个面形之差得到该促动器的响应函数,由各促动器的响应函数组成刚度矩阵,然后用阻尼最小二乘法计算各支撑点的校正力.最后,通过PID算法闭环控制各促动器施加力的过程.经过3次校正,将初始状态的1.22λRMS的面形误差校正到0.12λRMS,接近了镜面加工的0.1λRMS面形精度,说明所采用的主动校正算法和过程正确可行.
채용400 mm구경,12 mm후적구면반사경진행료주동광학실험.실험경지탱결구유배부12개주동지탱점화3개고정지탱점조성.주동지탱점용압전도자촉동기화압력전감기조성력촉동기,용우공제실험경면형;고정지탱점용우공제실험경적정위.실험중통과간섭의측시경면면형.분별측량출반사경재단독일개촉동기시가단위작용력전후적경면면형,구출저량개면형지차득도해촉동기적향응함수,유각촉동기적향응함수조성강도구진,연후용조니최소이승법계산각지탱점적교정력.최후,통과PID산법폐배공제각촉동기시가력적과정.경과3차교정,장초시상태적1.22λRMS적면형오차교정도0.12λRMS,접근료경면가공적0.1λRMS면형정도,설명소채용적주동교정산법화과정정학가행.