中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2010年
4期
11-14
,共4页
赵飞%李红轩%吉利%权伟龙%周惠娣%陈建敏
趙飛%李紅軒%吉利%權偉龍%週惠娣%陳建敏
조비%리홍헌%길리%권위룡%주혜제%진건민
R.F.PE CVD%掺硅类金刚石薄膜%水环境%结合强度%摩擦因数
R.F.PE CVD%摻硅類金剛石薄膜%水環境%結閤彊度%摩抆因數
R.F.PE CVD%참규류금강석박막%수배경%결합강도%마찰인수
利用射频等离子增强化学气相沉积(R.F.PECVD)与非平衡磁控溅射相结合的技术,通过调节甲烷与氩气的比例,在不锈钢基底上制备了一系列硅含量不同的掺硅类金刚石(Si-DLC)薄膜.通过XPS谱图获得了各Si-DLC薄膜的化学组成及Si元素的相对含量.采用非接触式三维轮廓仪测量了薄膜的表面形貌、粗糙度和厚度.采用纳米压痕技术获得了各薄膜的纳米硬度.在UMT-2MT摩擦试验机采用划痕法评价了各薄膜的结合强度,并在CSM摩擦试验机上考察了各薄膜在空气及水环境下的摩擦学性能.结果表明,各薄膜的纳米硬度和结合强度有相似的变化规律,其最佳值均出现在CH4/Ar=5/6处;而当CH4/Ar=7/6时,薄膜在水环境下的摩擦学性能能得到显著提高,摩擦因数仅为0.012.
利用射頻等離子增彊化學氣相沉積(R.F.PECVD)與非平衡磁控濺射相結閤的技術,通過調節甲烷與氬氣的比例,在不鏽鋼基底上製備瞭一繫列硅含量不同的摻硅類金剛石(Si-DLC)薄膜.通過XPS譜圖穫得瞭各Si-DLC薄膜的化學組成及Si元素的相對含量.採用非接觸式三維輪廓儀測量瞭薄膜的錶麵形貌、粗糙度和厚度.採用納米壓痕技術穫得瞭各薄膜的納米硬度.在UMT-2MT摩抆試驗機採用劃痕法評價瞭各薄膜的結閤彊度,併在CSM摩抆試驗機上攷察瞭各薄膜在空氣及水環境下的摩抆學性能.結果錶明,各薄膜的納米硬度和結閤彊度有相似的變化規律,其最佳值均齣現在CH4/Ar=5/6處;而噹CH4/Ar=7/6時,薄膜在水環境下的摩抆學性能能得到顯著提高,摩抆因數僅為0.012.
이용사빈등리자증강화학기상침적(R.F.PECVD)여비평형자공천사상결합적기술,통과조절갑완여아기적비례,재불수강기저상제비료일계렬규함량불동적참규류금강석(Si-DLC)박막.통과XPS보도획득료각Si-DLC박막적화학조성급Si원소적상대함량.채용비접촉식삼유륜곽의측량료박막적표면형모、조조도화후도.채용납미압흔기술획득료각박막적납미경도.재UMT-2MT마찰시험궤채용화흔법평개료각박막적결합강도,병재CSM마찰시험궤상고찰료각박막재공기급수배경하적마찰학성능.결과표명,각박막적납미경도화결합강도유상사적변화규률,기최가치균출현재CH4/Ar=5/6처;이당CH4/Ar=7/6시,박막재수배경하적마찰학성능능득도현저제고,마찰인수부위0.012.
