青岛大学学报（自然科学版）
青島大學學報（自然科學版）
청도대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF QINGDAO UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
4期
41-45
,共5页
张文飞%孔伟金%云茂金%孙欣%梁健%席思星%王书浩
張文飛%孔偉金%雲茂金%孫訢%樑健%席思星%王書浩
장문비%공위금%운무금%손흔%량건%석사성%왕서호
金属介质模光栅%耦合波%衍射效率%超短激光脉冲
金屬介質模光柵%耦閤波%衍射效率%超短激光脈遲
금속개질모광책%우합파%연사효솔%초단격광맥충
基于严格耦合波理论,分析了金属介质膜光栅的衍射性能,以-1级衍射效率为评价函数,研究了表面浮雕结构分别为HfO2和SiO2材料的金属介质膜光栅,获得衍射效率优于99%的结构参数.数值计算表明,当顶层光栅结构为HfO2和SiO2的槽深分别为80 nm和225 nm时,在1 053 nm处获得接近100%的衍射效率.
基于嚴格耦閤波理論,分析瞭金屬介質膜光柵的衍射性能,以-1級衍射效率為評價函數,研究瞭錶麵浮彫結構分彆為HfO2和SiO2材料的金屬介質膜光柵,穫得衍射效率優于99%的結構參數.數值計算錶明,噹頂層光柵結構為HfO2和SiO2的槽深分彆為80 nm和225 nm時,在1 053 nm處穫得接近100%的衍射效率.
기우엄격우합파이론,분석료금속개질막광책적연사성능,이-1급연사효솔위평개함수,연구료표면부조결구분별위HfO2화SiO2재료적금속개질막광책,획득연사효솔우우99%적결구삼수.수치계산표명,당정층광책결구위HfO2화SiO2적조심분별위80 nm화225 nm시,재1 053 nm처획득접근100%적연사효솔.
