功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2012年
2期
165-171
,共7页
罗畅%周白杨%黄涛%吴武地
囉暢%週白楊%黃濤%吳武地
라창%주백양%황도%오무지
WO3薄膜%射频反应磁控溅射%真空热处理%电致变色
WO3薄膜%射頻反應磁控濺射%真空熱處理%電緻變色
WO3박막%사빈반응자공천사%진공열처리%전치변색
采用WO3陶瓷靶,运用射频反应磁控溅射工艺,通过正交试验方法优化实验参数,制备出性能优异的WO3电致变色薄膜,通过对薄膜进行真空热处理,提高了薄膜变色存储能力.结果表明,氧分量为60％、压强为2.5Pa、功率为145W时制备的薄膜,对光调制幅度(△T)达89.3％.适度温度真空热处理可改善薄膜性能,着色率略有提高,变色存储时间增加(达32h),离子存储能力增大(达3.96mC/cm2),循环稳定性能良好,同时热处理使薄膜晶化,密度增加,变色响应时间增加.
採用WO3陶瓷靶,運用射頻反應磁控濺射工藝,通過正交試驗方法優化實驗參數,製備齣性能優異的WO3電緻變色薄膜,通過對薄膜進行真空熱處理,提高瞭薄膜變色存儲能力.結果錶明,氧分量為60％、壓彊為2.5Pa、功率為145W時製備的薄膜,對光調製幅度(△T)達89.3％.適度溫度真空熱處理可改善薄膜性能,著色率略有提高,變色存儲時間增加(達32h),離子存儲能力增大(達3.96mC/cm2),循環穩定性能良好,同時熱處理使薄膜晶化,密度增加,變色響應時間增加.
채용WO3도자파,운용사빈반응자공천사공예,통과정교시험방법우화실험삼수,제비출성능우이적WO3전치변색박막,통과대박막진행진공열처리,제고료박막변색존저능력.결과표명,양분량위60％、압강위2.5Pa、공솔위145W시제비적박막,대광조제폭도(△T)체89.3％.괄도온도진공열처리가개선박막성능,착색솔략유제고,변색존저시간증가(체32h),리자존저능력증대(체3.96mC/cm2),순배은정성능량호,동시열처리사박막정화,밀도증가,변색향응시간증가.
