红外
紅外
홍외
INFRARED
2012年
7期
34-38
,共5页
InSb%兆声%SC-1%表面颗粒度%表面粗糙度
InSb%兆聲%SC-1%錶麵顆粒度%錶麵粗糙度
InSb%조성%SC-1%표면과립도%표면조조도
随着红外探测器件制备工艺的不断发展,人们对InSb晶片表面质量的要求也越来越高,但是晶片在生产过程中不可避免地会引进各种杂质.研究了一种利用兆声超声并结合药液去离子水清洗InSb晶片的方法,并对清洗后的InSb晶片进行了表面颗粒度、表面有机物和表面粗糙度等方面的测量.实验结果表明,该方法能够有效去除InSb晶片表面的颗粒、有机物和金属离子杂质,但是也会略微增大晶片表面的粗糙度.
隨著紅外探測器件製備工藝的不斷髮展,人們對InSb晶片錶麵質量的要求也越來越高,但是晶片在生產過程中不可避免地會引進各種雜質.研究瞭一種利用兆聲超聲併結閤藥液去離子水清洗InSb晶片的方法,併對清洗後的InSb晶片進行瞭錶麵顆粒度、錶麵有機物和錶麵粗糙度等方麵的測量.實驗結果錶明,該方法能夠有效去除InSb晶片錶麵的顆粒、有機物和金屬離子雜質,但是也會略微增大晶片錶麵的粗糙度.
수착홍외탐측기건제비공예적불단발전,인문대InSb정편표면질량적요구야월래월고,단시정편재생산과정중불가피면지회인진각충잡질.연구료일충이용조성초성병결합약액거리자수청세InSb정편적방법,병대청세후적InSb정편진행료표면과립도、표면유궤물화표면조조도등방면적측량.실험결과표명,해방법능구유효거제InSb정편표면적과립、유궤물화금속리자잡질,단시야회략미증대정편표면적조조도.
