CAJ | 학술논문

光学读出式红外成像系统是近年来提出的一种新型红外成像技术,它是基于探测双材料微悬臂梁吸收红外辐射后的变形.本文采用了谱平面刀口滤波方法,将双材料(SiNx/Au)微梁阵列接收热像后的转角变形转化为像平面上微梁阵列的像所对应的光强变化,并设计制作了无基底单层膜结构微梁阵列(100×100pixels,微梁尺寸200×200μm2,厚2μm).用该阵列在光学读出系统中,获得了室温下人体的热图像.该系统在室温时(300K)噪声等效温度差(NETD)达到0.2K.
광학독출식홍외성상계통시근년래제출적일충신형홍외성상기술,타시기우탐측쌍재료미현비량흡수홍외복사후적변형.본문채용료보평면도구려파방법,장쌍재료(SiNx/Au)미량진렬접수열상후적전각변형전화위상평면상미량진렬적상소대응적광강변화,병설계제작료무기저단층막결구미량진렬(100×100pixels,미량척촌200×200μm2,후2μm).용해진렬재광학독출계통중,획득료실온하인체적열도상.해계통재실온시(300K)조성등효온도차(NETD)체도0.2K.