真空
真空
진공
VACUUM
2006年
1期
33-35
,共3页
ZnxMg1-xS多晶薄膜%真空蒸发镀%紫外吸收
ZnxMg1-xS多晶薄膜%真空蒸髮鍍%紫外吸收
ZnxMg1-xS다정박막%진공증발도%자외흡수
采用真空蒸镀技术,在普通石英玻璃衬底上成功制备出固溶体ZnxMg1-xS多晶薄膜.用X射线能量色散谱仪、原子力显微镜、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计等对薄膜晶体成分、表面形貌、结构和光学性质做了分析.结果表明:当x＝0.9时,固溶体ZnxMg1-xS晶体形貌生长和结晶性良好,为闪锌矿结构;由于镁成分的掺入,ZnxMg1-xS薄膜的(111)峰位相对于ZnS的(111)峰位向大角度方向移动0.14°;光学吸收边相对于ZnS产生了明显的蓝移,其禁带宽度增加0.19 eV,显示了作为短波光电器件材料和紫外探测材料的应用潜力.
採用真空蒸鍍技術,在普通石英玻璃襯底上成功製備齣固溶體ZnxMg1-xS多晶薄膜.用X射線能量色散譜儀、原子力顯微鏡、X射線衍射儀、紫外-可見分光光度計等對薄膜晶體成分、錶麵形貌、結構和光學性質做瞭分析.結果錶明:噹x＝0.9時,固溶體ZnxMg1-xS晶體形貌生長和結晶性良好,為閃鋅礦結構;由于鎂成分的摻入,ZnxMg1-xS薄膜的(111)峰位相對于ZnS的(111)峰位嚮大角度方嚮移動0.14°;光學吸收邊相對于ZnS產生瞭明顯的藍移,其禁帶寬度增加0.19 eV,顯示瞭作為短波光電器件材料和紫外探測材料的應用潛力.
채용진공증도기술,재보통석영파리츤저상성공제비출고용체ZnxMg1-xS다정박막.용X사선능량색산보의、원자력현미경、X사선연사의、자외-가견분광광도계등대박막정체성분、표면형모、결구화광학성질주료분석.결과표명:당x＝0.9시,고용체ZnxMg1-xS정체형모생장화결정성량호,위섬자광결구;유우미성분적참입,ZnxMg1-xS박막적(111)봉위상대우ZnS적(111)봉위향대각도방향이동0.14°;광학흡수변상대우ZnS산생료명현적람이,기금대관도증가0.19 eV,현시료작위단파광전기건재료화자외탐측재료적응용잠력.
