摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2008年
3期
219-224
,共6页
张晓化%刘道新%高广睿%唐长斌%唐宾
張曉化%劉道新%高廣睿%唐長斌%唐賓
장효화%류도신%고엄예%당장빈%당빈
钛合金%非平衡磁控溅射%复合薄膜%摩擦磨损性能%微动疲劳%高温
鈦閤金%非平衡磁控濺射%複閤薄膜%摩抆磨損性能%微動疲勞%高溫
태합금%비평형자공천사%복합박막%마찰마손성능%미동피로%고온
利用非平衡磁控溅射方法在Ti811合金表面制备MoS2/Ti复合薄膜,研究薄膜的成分、膜-基结合强度和显微硬度,以及MoS2/Ti复合薄膜对Ti811合金基材在350℃中的摩擦磨损性能和微动疲劳性能的影响.结果表明:利用非平衡磁控溅射技术可以获得致密度高、晶粒细化、孔隙率低和膜-基结合强度高的MoS2/Ti复合薄膜;MoS2/Ti复合薄膜对Ti811合金表面具有良好的减摩润滑作用,能够显著改善Ti811合金在350℃下的摩擦磨损性能和微动疲劳性能;经喷丸强化处理后再进行非平衡磁控溅射MoS2/Ti复合薄膜,可以使Ti811合金在350℃下的耐微动疲劳性能优于MoS2/Ti薄膜,但不及喷丸强化处理的结果.这是由于非平衡磁控溅射工艺过程降低了喷丸强化层的残余压应力.
利用非平衡磁控濺射方法在Ti811閤金錶麵製備MoS2/Ti複閤薄膜,研究薄膜的成分、膜-基結閤彊度和顯微硬度,以及MoS2/Ti複閤薄膜對Ti811閤金基材在350℃中的摩抆磨損性能和微動疲勞性能的影響.結果錶明:利用非平衡磁控濺射技術可以穫得緻密度高、晶粒細化、孔隙率低和膜-基結閤彊度高的MoS2/Ti複閤薄膜;MoS2/Ti複閤薄膜對Ti811閤金錶麵具有良好的減摩潤滑作用,能夠顯著改善Ti811閤金在350℃下的摩抆磨損性能和微動疲勞性能;經噴汍彊化處理後再進行非平衡磁控濺射MoS2/Ti複閤薄膜,可以使Ti811閤金在350℃下的耐微動疲勞性能優于MoS2/Ti薄膜,但不及噴汍彊化處理的結果.這是由于非平衡磁控濺射工藝過程降低瞭噴汍彊化層的殘餘壓應力.
이용비평형자공천사방법재Ti811합금표면제비MoS2/Ti복합박막,연구박막적성분、막-기결합강도화현미경도,이급MoS2/Ti복합박막대Ti811합금기재재350℃중적마찰마손성능화미동피로성능적영향.결과표명:이용비평형자공천사기술가이획득치밀도고、정립세화、공극솔저화막-기결합강도고적MoS2/Ti복합박막;MoS2/Ti복합박막대Ti811합금표면구유량호적감마윤활작용,능구현저개선Ti811합금재350℃하적마찰마손성능화미동피로성능;경분환강화처리후재진행비평형자공천사MoS2/Ti복합박막,가이사Ti811합금재350℃하적내미동피로성능우우MoS2/Ti박막,단불급분환강화처리적결과.저시유우비평형자공천사공예과정강저료분환강화층적잔여압응력.
