发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2009年
3期
368-372
,共5页
马毓堃%姚宁%高知丰%王爱华%秦玉华%张兵临
馬毓堃%姚寧%高知豐%王愛華%秦玉華%張兵臨
마육곤%요저%고지봉%왕애화%진옥화%장병림
ZnO薄膜%两步化学法%场发射
ZnO薄膜%兩步化學法%場髮射
ZnO박막%량보화학법%장발사
在低温常压条件下,以ITO玻璃为衬底,采用电化学法与湿化学法结合的两步化学沉积法制备了团簇状ZnO薄膜.利用XRD,SEM分析了薄膜结构和表面形貌,并采用二极管结构在高真空条件下对薄膜进行了场发射性能测试.稳定发射后,开启电场为3.0 V/μm.当电场为5.8 V/μm时,电流密度为583.3 μA/cm2.研究表明:两步化学沉积法低温制备ZnO薄膜是可行的,且该薄膜具有良好的场发射性能.
在低溫常壓條件下,以ITO玻璃為襯底,採用電化學法與濕化學法結閤的兩步化學沉積法製備瞭糰簇狀ZnO薄膜.利用XRD,SEM分析瞭薄膜結構和錶麵形貌,併採用二極管結構在高真空條件下對薄膜進行瞭場髮射性能測試.穩定髮射後,開啟電場為3.0 V/μm.噹電場為5.8 V/μm時,電流密度為583.3 μA/cm2.研究錶明:兩步化學沉積法低溫製備ZnO薄膜是可行的,且該薄膜具有良好的場髮射性能.
재저온상압조건하,이ITO파리위츤저,채용전화학법여습화학법결합적량보화학침적법제비료단족상ZnO박막.이용XRD,SEM분석료박막결구화표면형모,병채용이겁관결구재고진공조건하대박막진행료장발사성능측시.은정발사후,개계전장위3.0 V/μm.당전장위5.8 V/μm시,전류밀도위583.3 μA/cm2.연구표명:량보화학침적법저온제비ZnO박막시가행적,차해박막구유량호적장발사성능.
