真空
真空
진공
VACUUM
2010年
2期
1-6
,共6页
杨乃恒%巴德纯%王晓冬%刘坤
楊迺恆%巴德純%王曉鼕%劉坤
양내항%파덕순%왕효동%류곤
涡轮分子泵%返流%充气
渦輪分子泵%返流%充氣
와륜분자빙%반류%충기
本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点.为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统.然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空系统,如果操作不当,很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染.利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验.这些对用户正确选择和使用涡轮分子泵有油系统获得清洁真空,有一定的参考价值.
本文首先介紹瞭渦輪分子泵的工作原理,結構型式及其優缺點.為瞭利用渦輪分子泵,穫得清潔真空,國外多利用榦式機械泵作其前級泵,構成無油的真空繫統.然而,目前國內渦輪分子泵多以油封機械泵為其前級泵,構成瞭有油真空繫統,如果操作不噹,很難避免油蒸汽返流,對真空繫統的汙染.利用有油繫統穫得清潔真空,國內外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經驗.這些對用戶正確選擇和使用渦輪分子泵有油繫統穫得清潔真空,有一定的參攷價值.
본문수선개소료와륜분자빙적공작원리,결구형식급기우결점.위료이용와륜분자빙,획득청길진공,국외다이용간식궤계빙작기전급빙,구성무유적진공계통.연이,목전국내와륜분자빙다이유봉궤계빙위기전급빙,구성료유유진공계통,여과조작불당,흔난피면유증기반류,대진공계통적오염.이용유유계통획득청길진공,국내외도유일사유효방지반류적조시화성공적조작경험.저사대용호정학선택화사용와륜분자빙유유계통획득청길진공,유일정적삼고개치.
