应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2010年
6期
984-988
,共5页
孔小辉%樊学武%马臻%庞志海%余舜京
孔小輝%樊學武%馬臻%龐誌海%餘舜京
공소휘%번학무%마진%방지해%여순경
光学检测%瑞奇-康芒检验%波像差%影响函数
光學檢測%瑞奇-康芒檢驗%波像差%影響函數
광학검측%서기-강망검험%파상차%영향함수
在瑞奇-康芒检测中,被检平面本身所固有的像散和大曲率在被检系统波像差数据中都表现为像散.由于被检平面处于发散光路中,这就使得平面面形与系统波像差之间的关系(即影响函数)变得十分复杂,推导起来十分困难,只能进行定性或半定量检测.文中介绍了如何通过计算机光线追迹模拟瑞奇-康芒检验,在两个瑞奇角下得到两组影响函数,以此建立过定方程组,由干涉仪检测得到的两个不同瑞奇角下的系统波像差,通过最小二乘法解过定方程组,拟合得到被检平面镜的面形误差;实现了大口径平面镜的定量检测,并以平面镜直接检验的面形误差作为对比,检验结果的一致验证了该方法的准确性与可行性.
在瑞奇-康芒檢測中,被檢平麵本身所固有的像散和大麯率在被檢繫統波像差數據中都錶現為像散.由于被檢平麵處于髮散光路中,這就使得平麵麵形與繫統波像差之間的關繫(即影響函數)變得十分複雜,推導起來十分睏難,隻能進行定性或半定量檢測.文中介紹瞭如何通過計算機光線追跡模擬瑞奇-康芒檢驗,在兩箇瑞奇角下得到兩組影響函數,以此建立過定方程組,由榦涉儀檢測得到的兩箇不同瑞奇角下的繫統波像差,通過最小二乘法解過定方程組,擬閤得到被檢平麵鏡的麵形誤差;實現瞭大口徑平麵鏡的定量檢測,併以平麵鏡直接檢驗的麵形誤差作為對比,檢驗結果的一緻驗證瞭該方法的準確性與可行性.
재서기-강망검측중,피검평면본신소고유적상산화대곡솔재피검계통파상차수거중도표현위상산.유우피검평면처우발산광로중,저취사득평면면형여계통파상차지간적관계(즉영향함수)변득십분복잡,추도기래십분곤난,지능진행정성혹반정량검측.문중개소료여하통과계산궤광선추적모의서기-강망검험,재량개서기각하득도량조영향함수,이차건립과정방정조,유간섭의검측득도적량개불동서기각하적계통파상차,통과최소이승법해과정방정조,의합득도피검평면경적면형오차;실현료대구경평면경적정량검측,병이평면경직접검험적면형오차작위대비,검험결과적일치험증료해방법적준학성여가행성.
