东方电气评论
東方電氣評論
동방전기평론
2011年
1期
76-77
,共2页
陈强%胡乐莎%赵仕明%翟桂林
陳彊%鬍樂莎%趙仕明%翟桂林
진강%호악사%조사명%적계림
高压击穿%多晶硅%氢气气氛%启动时间
高壓擊穿%多晶硅%氫氣氣氛%啟動時間
고압격천%다정규%경기기분%계동시간
多晶硅还原预热启动方式中,有很多种启动方式,国内大部分最先采用的是氮气气氛下用卤素灯加热预启动方式,或者用三相高压击穿启动.然而上述方式都存在启动时间长、设备成本较高等问题.因此针对现有多晶硅还原炉启动,本文介绍了一种高压击穿二相烘烤一相的启动方式,更高效,更经济,更稳定.
多晶硅還原預熱啟動方式中,有很多種啟動方式,國內大部分最先採用的是氮氣氣氛下用滷素燈加熱預啟動方式,或者用三相高壓擊穿啟動.然而上述方式都存在啟動時間長、設備成本較高等問題.因此針對現有多晶硅還原爐啟動,本文介紹瞭一種高壓擊穿二相烘烤一相的啟動方式,更高效,更經濟,更穩定.
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