南京信息工程大学学报
南京信息工程大學學報
남경신식공정대학학보
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY OF INFORMATION SCIENCE & TECHNOLOGY
2011年
2期
173-182
,共10页
微电子材料%碳纳米管%石墨烯%构建器件
微電子材料%碳納米管%石墨烯%構建器件
미전자재료%탄납미관%석묵희%구건기건
在硅电子材料即将发展到顶峰时,碳纳米管及石墨烯以其优良的导体和半导体性质将成为延续硅材料的主流微电子材料.详述了碳纳米管和石墨烯的结构与电学性质,从而说明其作为微电子材料的优势,列举了在微电子器件构建中已经取得的成果及构建器件的方法,并简述了相应碳纳米管和石墨烯的制备方法.
在硅電子材料即將髮展到頂峰時,碳納米管及石墨烯以其優良的導體和半導體性質將成為延續硅材料的主流微電子材料.詳述瞭碳納米管和石墨烯的結構與電學性質,從而說明其作為微電子材料的優勢,列舉瞭在微電子器件構建中已經取得的成果及構建器件的方法,併簡述瞭相應碳納米管和石墨烯的製備方法.
재규전자재료즉장발전도정봉시,탄납미관급석묵희이기우량적도체화반도체성질장성위연속규재료적주류미전자재료.상술료탄납미관화석묵희적결구여전학성질,종이설명기작위미전자재료적우세,열거료재미전자기건구건중이경취득적성과급구건기건적방법,병간술료상응탄납미관화석묵희적제비방법.
