强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
8期
1785-1788
,共4页
吴文娟%朱京涛%张众%王风丽%陈玲燕%周洪军%霍同林
吳文娟%硃京濤%張衆%王風麗%陳玲燕%週洪軍%霍同林
오문연%주경도%장음%왕풍려%진령연%주홍군%곽동림
多层膜%带宽%低原子序数材料%磁控溅射%同步辐射
多層膜%帶寬%低原子序數材料%磁控濺射%同步輻射
다층막%대관%저원자서수재료%자공천사%동보복사
为研制极紫外波段窄带多层膜反射镜,采用低原子序数材料组合设计了30.4 nm波长处Mg/SiC,Si/SiC,Si/B4C和Si/C多层膜反射镜,并与极紫外波段传统的Mo/Si多层膜反射镜进行对比.采用直流磁控溅射技术制备了这些多层膜,在国家同步辐射实验室辐射与计量光束线完成了多层膜反射率测量,测量结果表明:Mg/SiC多层膜的带宽最小,为1.44 nm,且反射率最高,为44％；而Mo/Si多层膜的反射率仅为24％,带宽为3.11 nm.实验结果证明了采用低原子序数材料组成的多层膜的带宽要比常规多层膜窄,该方法可以应用于极紫外波段高分辨研究.
為研製極紫外波段窄帶多層膜反射鏡,採用低原子序數材料組閤設計瞭30.4 nm波長處Mg/SiC,Si/SiC,Si/B4C和Si/C多層膜反射鏡,併與極紫外波段傳統的Mo/Si多層膜反射鏡進行對比.採用直流磁控濺射技術製備瞭這些多層膜,在國傢同步輻射實驗室輻射與計量光束線完成瞭多層膜反射率測量,測量結果錶明:Mg/SiC多層膜的帶寬最小,為1.44 nm,且反射率最高,為44％；而Mo/Si多層膜的反射率僅為24％,帶寬為3.11 nm.實驗結果證明瞭採用低原子序數材料組成的多層膜的帶寬要比常規多層膜窄,該方法可以應用于極紫外波段高分辨研究.
위연제겁자외파단착대다층막반사경,채용저원자서수재료조합설계료30.4 nm파장처Mg/SiC,Si/SiC,Si/B4C화Si/C다층막반사경,병여겁자외파단전통적Mo/Si다층막반사경진행대비.채용직류자공천사기술제비료저사다층막,재국가동보복사실험실복사여계량광속선완성료다층막반사솔측량,측량결과표명:Mg/SiC다층막적대관최소,위1.44 nm,차반사솔최고,위44％；이Mo/Si다층막적반사솔부위24％,대관위3.11 nm.실험결과증명료채용저원자서수재료조성적다층막적대관요비상규다층막착,해방법가이응용우겁자외파단고분변연구.
