吉林大学学报(工学版)
吉林大學學報(工學版)
길림대학학보(공학판)
JOURNAL OF JILIN UNIERSITY(ENGINEERING AND TECHNOLOGY EDITION)
2003年
4期
126-130
,共5页
SPM%STM%AFM%超精密加工%纳米加工
SPM%STM%AFM%超精密加工%納米加工
SPM%STM%AFM%초정밀가공%납미가공
对扫描探针显微镜(SPM)的基本原理、成像模式及其在超精密加工中的新应用进行了评述.介绍了SPM在微细加工和光刻新技术中的应用.指出纳米级加工机理的研究将依赖于SPM的复合化和多功能化.只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择,从而推进超精密加工技术的发展.
對掃描探針顯微鏡(SPM)的基本原理、成像模式及其在超精密加工中的新應用進行瞭評述.介紹瞭SPM在微細加工和光刻新技術中的應用.指齣納米級加工機理的研究將依賴于SPM的複閤化和多功能化.隻有實現瞭加工與檢測的一體化纔能正確評價加工方法及工藝參數的優化選擇,從而推進超精密加工技術的髮展.
대소묘탐침현미경(SPM)적기본원리、성상모식급기재초정밀가공중적신응용진행료평술.개소료SPM재미세가공화광각신기술중적응용.지출납미급가공궤리적연구장의뢰우SPM적복합화화다공능화.지유실현료가공여검측적일체화재능정학평개가공방법급공예삼수적우화선택,종이추진초정밀가공기술적발전.
