光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2004年
11期
1263-1266
,共4页
吴波%陈才和%张晓玲%崔宇明%张燕君%钟娟娟
吳波%陳纔和%張曉玲%崔宇明%張燕君%鐘娟娟
오파%진재화%장효령%최우명%장연군%종연연
微光电机械系数%加速度计%M-Z干涉%结构设计
微光電機械繫數%加速度計%M-Z榦涉%結構設計
미광전궤계계수%가속도계%M-Z간섭%결구설계
提出了一种新型的Si基M-Z干涉型微光电机械系统(MOEMS)加速度地震检波器.在Si基上集成了Si十字梁、质量块、偏振器、M-Z波导干涉仪及声光调制器.给出了该加速度检波器工作原理,对结构进行了分析设计,并用有限元(FEM)分析软件进行了仿真计算.该检波器的主要设计参数为:固有频率1 353 Hz,相位检测灵敏度1.2×10-4rad/(m·s2).
提齣瞭一種新型的Si基M-Z榦涉型微光電機械繫統(MOEMS)加速度地震檢波器.在Si基上集成瞭Si十字樑、質量塊、偏振器、M-Z波導榦涉儀及聲光調製器.給齣瞭該加速度檢波器工作原理,對結構進行瞭分析設計,併用有限元(FEM)分析軟件進行瞭倣真計算.該檢波器的主要設計參數為:固有頻率1 353 Hz,相位檢測靈敏度1.2×10-4rad/(m·s2).
제출료일충신형적Si기M-Z간섭형미광전궤계계통(MOEMS)가속도지진검파기.재Si기상집성료Si십자량、질량괴、편진기、M-Z파도간섭의급성광조제기.급출료해가속도검파기공작원리,대결구진행료분석설계,병용유한원(FEM)분석연건진행료방진계산.해검파기적주요설계삼수위:고유빈솔1 353 Hz,상위검측령민도1.2×10-4rad/(m·s2).
