太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2007年
2期
151-154
,共4页
邓海%杨德仁%唐骏%席珍强%阙端麟
鄧海%楊德仁%唐駿%席珍彊%闕耑麟
산해%양덕인%당준%석진강%궐단린
铸造多晶硅%少子寿命%间隙铁%氧
鑄造多晶硅%少子壽命%間隙鐵%氧
주조다정규%소자수명%간극철%양
应用微波光电导衰减仪(μ-PCD)测得了铸造多晶硅硅锭沿生长方向少子寿命的分布图.结果显示:距离硅锭底部4～5 cm以及顶部约2cm的范围内均存在一个少子寿命值过低的区域,而硅锭中间区域的少子寿命值较高且分布均匀.通过将样品在200℃下热处理10min,根据处理前后少子寿命值的变化,获得了间隙铁浓度沿硅锭方向的一维线性分布曲线.从曲线中可以发现铁在硅锭两端浓度较高,这与硅锭冷却过程中铁从坩埚向硅锭底部发生的固相扩散以及铁的分凝特性有关.另外通过傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)测试发现间隙氧浓度在硅锭底部较高,呈现从硅锭底部向顶部逐渐降低的趋势.研究结果表明硅锭中存在的高浓度的氧、铁等杂质为影响其少子寿命值的关键因素.
應用微波光電導衰減儀(μ-PCD)測得瞭鑄造多晶硅硅錠沿生長方嚮少子壽命的分佈圖.結果顯示:距離硅錠底部4～5 cm以及頂部約2cm的範圍內均存在一箇少子壽命值過低的區域,而硅錠中間區域的少子壽命值較高且分佈均勻.通過將樣品在200℃下熱處理10min,根據處理前後少子壽命值的變化,穫得瞭間隙鐵濃度沿硅錠方嚮的一維線性分佈麯線.從麯線中可以髮現鐵在硅錠兩耑濃度較高,這與硅錠冷卻過程中鐵從坩堝嚮硅錠底部髮生的固相擴散以及鐵的分凝特性有關.另外通過傅立葉變換紅外光譜儀(FTIR)測試髮現間隙氧濃度在硅錠底部較高,呈現從硅錠底部嚮頂部逐漸降低的趨勢.研究結果錶明硅錠中存在的高濃度的氧、鐵等雜質為影響其少子壽命值的關鍵因素.
응용미파광전도쇠감의(μ-PCD)측득료주조다정규규정연생장방향소자수명적분포도.결과현시:거리규정저부4～5 cm이급정부약2cm적범위내균존재일개소자수명치과저적구역,이규정중간구역적소자수명치교고차분포균균.통과장양품재200℃하열처리10min,근거처리전후소자수명치적변화,획득료간극철농도연규정방향적일유선성분포곡선.종곡선중가이발현철재규정량단농도교고,저여규정냉각과정중철종감과향규정저부발생적고상확산이급철적분응특성유관.령외통과부립협변환홍외광보의(FTIR)측시발현간극양농도재규정저부교고,정현종규정저부향정부축점강저적추세.연구결과표명규정중존재적고농도적양、철등잡질위영향기소자수명치적관건인소.
