光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2008年
4期
605-607
,共3页
张斌智%杨利伟%张峰%张忠玉%张学军
張斌智%楊利偉%張峰%張忠玉%張學軍
장빈지%양리위%장봉%장충옥%장학군
碳化硅反射镜%光学抛光%镜面变形%有限元方法%计算机控制光学表面成型
碳化硅反射鏡%光學拋光%鏡麵變形%有限元方法%計算機控製光學錶麵成型
탄화규반사경%광학포광%경면변형%유한원방법%계산궤공제광학표면성형
轻量化的碳化硅反射镜有自己独特的结构特点,加工中的变形与传统实体反射镜不同,对加工后的面形结果有独特的影响.对一直径为318mm的轻量化碳化硅反射镜进行了传统的研磨抛光,由于镜面变形对抛光结果带来了很大的影响,其面形误差的RMS值在0.048A(λ=0.6328μm)左右就不再收敛.对抛光状态的镜体进行了有限元分析,探讨了减轻镜面变形对抛光结果影响的方法.采用计算机控制小磨头对该反射镜进行了确定性抛光,有效地降低了镜面形变的影响,使面形满足了精度的要求.
輕量化的碳化硅反射鏡有自己獨特的結構特點,加工中的變形與傳統實體反射鏡不同,對加工後的麵形結果有獨特的影響.對一直徑為318mm的輕量化碳化硅反射鏡進行瞭傳統的研磨拋光,由于鏡麵變形對拋光結果帶來瞭很大的影響,其麵形誤差的RMS值在0.048A(λ=0.6328μm)左右就不再收斂.對拋光狀態的鏡體進行瞭有限元分析,探討瞭減輕鏡麵變形對拋光結果影響的方法.採用計算機控製小磨頭對該反射鏡進行瞭確定性拋光,有效地降低瞭鏡麵形變的影響,使麵形滿足瞭精度的要求.
경양화적탄화규반사경유자기독특적결구특점,가공중적변형여전통실체반사경불동,대가공후적면형결과유독특적영향.대일직경위318mm적경양화탄화규반사경진행료전통적연마포광,유우경면변형대포광결과대래료흔대적영향,기면형오차적RMS치재0.048A(λ=0.6328μm)좌우취불재수렴.대포광상태적경체진행료유한원분석,탐토료감경경면변형대포광결과영향적방법.채용계산궤공제소마두대해반사경진행료학정성포광,유효지강저료경면형변적영향,사면형만족료정도적요구.
