激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2009年
3期
260-263
,共4页
郭春风%齐文宗%王德飞%于继平
郭春風%齊文宗%王德飛%于繼平
곽춘풍%제문종%왕덕비%우계평
飞秒激光%超快热弹模型%硅膜%热应力
飛秒激光%超快熱彈模型%硅膜%熱應力
비초격광%초쾌열탄모형%규막%열응력
为描述飞秒激光辐照半导体材料的热力响应过程,扩展了热电子崩力和自恰场两种模型,得到了完全耦合的非线性热弹方程组.在单轴应力条件下,利用有限差分法,计算了500fs脉冲激光作用下硅膜内载流子温度、晶格温度、热应力和热电子崩力的变化情况,同时考虑了能量密度和薄膜厚度两个因素的影响.数值结果表明:能量密度越高达到热平衡所需的时间就越长;对于比较薄的硅膜,随着激光作用时间的增加,热应力的双峰逐渐增加并由前后表面同时向薄膜的中间移动.
為描述飛秒激光輻照半導體材料的熱力響應過程,擴展瞭熱電子崩力和自恰場兩種模型,得到瞭完全耦閤的非線性熱彈方程組.在單軸應力條件下,利用有限差分法,計算瞭500fs脈遲激光作用下硅膜內載流子溫度、晶格溫度、熱應力和熱電子崩力的變化情況,同時攷慮瞭能量密度和薄膜厚度兩箇因素的影響.數值結果錶明:能量密度越高達到熱平衡所需的時間就越長;對于比較薄的硅膜,隨著激光作用時間的增加,熱應力的雙峰逐漸增加併由前後錶麵同時嚮薄膜的中間移動.
위묘술비초격광복조반도체재료적열력향응과정,확전료열전자붕력화자흡장량충모형,득도료완전우합적비선성열탄방정조.재단축응력조건하,이용유한차분법,계산료500fs맥충격광작용하규막내재류자온도、정격온도、열응력화열전자붕력적변화정황,동시고필료능량밀도화박막후도량개인소적영향.수치결과표명:능량밀도월고체도열평형소수적시간취월장;대우비교박적규막,수착격광작용시간적증가,열응력적쌍봉축점증가병유전후표면동시향박막적중간이동.
