中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2009年
8期
2115-2120
,共6页
李中梁%王向朝%刘英明%唐锋
李中樑%王嚮朝%劉英明%唐鋒
리중량%왕향조%류영명%당봉
测量%多光束干涉%参数优化%误差补偿%正弦相位调制
測量%多光束榦涉%參數優化%誤差補償%正絃相位調製
측량%다광속간섭%삼수우화%오차보상%정현상위조제
在利用正弦相位调制菲佐干涉仪进行测量时,由于菲佐板及待测物体表面对入射光的多次反射而产生多光束干涉,干涉信号的强度随相位变化不是严格的余弦分布.按照双光束干涉的算法进行相位信息提取,会引入一定的误差.以正弦相位凋制菲佐干涉仪纳米精度微小位移测量为应用背景,分析多光束干涉情况下该干涉仪信号解调算法的误差,进而对干涉仪的相关参数进行优化,并通过误差补偿对测量结果进行修正,有效减小了多光束干涉产生的影响.
在利用正絃相位調製菲佐榦涉儀進行測量時,由于菲佐闆及待測物體錶麵對入射光的多次反射而產生多光束榦涉,榦涉信號的彊度隨相位變化不是嚴格的餘絃分佈.按照雙光束榦涉的算法進行相位信息提取,會引入一定的誤差.以正絃相位凋製菲佐榦涉儀納米精度微小位移測量為應用揹景,分析多光束榦涉情況下該榦涉儀信號解調算法的誤差,進而對榦涉儀的相關參數進行優化,併通過誤差補償對測量結果進行脩正,有效減小瞭多光束榦涉產生的影響.
재이용정현상위조제비좌간섭의진행측량시,유우비좌판급대측물체표면대입사광적다차반사이산생다광속간섭,간섭신호적강도수상위변화불시엄격적여현분포.안조쌍광속간섭적산법진행상위신식제취,회인입일정적오차.이정현상위조제비좌간섭의납미정도미소위이측량위응용배경,분석다광속간섭정황하해간섭의신호해조산법적오차,진이대간섭의적상관삼수진행우화,병통과오차보상대측량결과진행수정,유효감소료다광속간섭산생적영향.
