火箭推进
火箭推進
화전추진
JOURNAL OF ROCKET PROPULSION
2010年
1期
8-12
,共5页
张晰哲%唐周强%韩先伟%管海兵%宦飞
張晰哲%唐週彊%韓先偉%管海兵%宦飛
장석철%당주강%한선위%관해병%환비
微机电系统%微推进系统%静电微型阀%压电微型阀
微機電繫統%微推進繫統%靜電微型閥%壓電微型閥
미궤전계통%미추진계통%정전미형벌%압전미형벌
根据微机电系统(MEMS)技术和微型阀技术的研究现状与发展趋势,在微型阀致动机理分析和性能对比的基础上,通过对微型阀结构的理论计算和数值模拟,论证了静电致动和压电致动两种微型阀方案,确定了微推进系统用微型阀的主要技术参数和性能指标;通过结构设计和MEMS工艺攻关,完成了基于MEMS技术的压电致动微型阀原理样件制造,并进行了初步的原理试验验证和性能检测.结果表明,基于MEMS技术的压电致动微型阀原理可行,方案合理;通过进一步的结构优化,解决多层键合和系统封装工艺,可以获得高性能的微型阀,为小型、轻质和集成化微推进系统研制奠定基础.
根據微機電繫統(MEMS)技術和微型閥技術的研究現狀與髮展趨勢,在微型閥緻動機理分析和性能對比的基礎上,通過對微型閥結構的理論計算和數值模擬,論證瞭靜電緻動和壓電緻動兩種微型閥方案,確定瞭微推進繫統用微型閥的主要技術參數和性能指標;通過結構設計和MEMS工藝攻關,完成瞭基于MEMS技術的壓電緻動微型閥原理樣件製造,併進行瞭初步的原理試驗驗證和性能檢測.結果錶明,基于MEMS技術的壓電緻動微型閥原理可行,方案閤理;通過進一步的結構優化,解決多層鍵閤和繫統封裝工藝,可以穫得高性能的微型閥,為小型、輕質和集成化微推進繫統研製奠定基礎.
근거미궤전계통(MEMS)기술화미형벌기술적연구현상여발전추세,재미형벌치동궤리분석화성능대비적기출상,통과대미형벌결구적이론계산화수치모의,론증료정전치동화압전치동량충미형벌방안,학정료미추진계통용미형벌적주요기술삼수화성능지표;통과결구설계화MEMS공예공관,완성료기우MEMS기술적압전치동미형벌원리양건제조,병진행료초보적원리시험험증화성능검측.결과표명,기우MEMS기술적압전치동미형벌원리가행,방안합리;통과진일보적결구우화,해결다층건합화계통봉장공예,가이획득고성능적미형벌,위소형、경질화집성화미추진계통연제전정기출.
