光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
1期
107-111,126
,共6页
姑丽各娜·买买提依明%海日沙·阿不来提%阿布力孜·伊米提
姑麗各娜·買買提依明%海日沙·阿不來提%阿佈力孜·伊米提
고려각나·매매제의명%해일사·아불래제%아포력자·이미제
光波导气敏元件%溶胶凝胶法%In2O3%纳米薄膜
光波導氣敏元件%溶膠凝膠法%In2O3%納米薄膜
광파도기민원건%용효응효법%In2O3%납미박막
本文提出利用金属氧化物半导体材料制备光波导气敏元件,检测挥发性有机物蒸汽的新方法.通过溶胶凝胶法制备了 In2O3 粉末并用 X-衍射对样品进行表征.采用提拉法在锡掺杂玻璃光波导表面制备 In2O3 薄膜,研制了 In2O3 薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件,并对挥发性有机蒸汽进行检测.实验结果表明该元件对二甲苯具有较好的气敏性,在常温下该敏感元件对于浓度为 1×10-6(体积分数)的二甲苯蒸汽有比较明显响应.
本文提齣利用金屬氧化物半導體材料製備光波導氣敏元件,檢測揮髮性有機物蒸汽的新方法.通過溶膠凝膠法製備瞭 In2O3 粉末併用 X-衍射對樣品進行錶徵.採用提拉法在錫摻雜玻璃光波導錶麵製備 In2O3 薄膜,研製瞭 In2O3 薄膜/錫摻雜玻璃光波導傳感元件,併對揮髮性有機蒸汽進行檢測.實驗結果錶明該元件對二甲苯具有較好的氣敏性,在常溫下該敏感元件對于濃度為 1×10-6(體積分數)的二甲苯蒸汽有比較明顯響應.
본문제출이용금속양화물반도체재료제비광파도기민원건,검측휘발성유궤물증기적신방법.통과용효응효법제비료 In2O3 분말병용 X-연사대양품진행표정.채용제랍법재석참잡파리광파도표면제비 In2O3 박막,연제료 In2O3 박막/석참잡파리광파도전감원건,병대휘발성유궤증기진행검측.실험결과표명해원건대이갑분구유교호적기민성,재상온하해민감원건대우농도위 1×10-6(체적분수)적이갑분증기유비교명현향응.
