光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
1期
80-87
,共8页
刘小涵%赵晶丽%冯晓国%申振峰%高劲松%张红胜
劉小涵%趙晶麗%馮曉國%申振峰%高勁鬆%張紅勝
류소함%조정려%풍효국%신진봉%고경송%장홍성
高透射率网栅膜%感性网栅膜%电磁屏蔽%矩量法
高透射率網柵膜%感性網柵膜%電磁屏蔽%矩量法
고투사솔망책막%감성망책막%전자병폐%구량법
在确保制作感性网栅膜后光学窗红外透射率下降小于5％的前提下,研究了影响感性网栅膜电磁屏蔽特性的主要因素.归纳了感性网栅膜红外透射率公式,运用含阻抗边界条件的谱域Galerkin法推导了周期结构金属网栅的电磁场积分方程,用周期矩量法计算出网栅的反射系数及透射系数,进而求出其电磁屏蔽效能；计算并分析了采用不同线宽、周期、衬底材料、衬底厚度时透明导电光窗(金属网栅膜)的电磁屏蔽效能.最后,采用激光直写、真空镀膜等工艺在ZnS基底上制作了周期为360 μm×360μm、线宽为12μm,方块电阻分别为13 Ω、25Ω的样片,采用自由空间法测试了2～18GHz频段的电磁屏蔽效能.测试与分析结果表明:当感性网栅膜在8～10 μm波段引起的平均透射率下降小于2％的情况下,电磁屏蔽效能平均达到了20 dB以上.结果显示网栅的光电特性是矛盾的,线宽与周期越小电磁屏蔽效果越好,同时应尽量降低网栅的表面电阻.
在確保製作感性網柵膜後光學窗紅外透射率下降小于5％的前提下,研究瞭影響感性網柵膜電磁屏蔽特性的主要因素.歸納瞭感性網柵膜紅外透射率公式,運用含阻抗邊界條件的譜域Galerkin法推導瞭週期結構金屬網柵的電磁場積分方程,用週期矩量法計算齣網柵的反射繫數及透射繫數,進而求齣其電磁屏蔽效能；計算併分析瞭採用不同線寬、週期、襯底材料、襯底厚度時透明導電光窗(金屬網柵膜)的電磁屏蔽效能.最後,採用激光直寫、真空鍍膜等工藝在ZnS基底上製作瞭週期為360 μm×360μm、線寬為12μm,方塊電阻分彆為13 Ω、25Ω的樣片,採用自由空間法測試瞭2～18GHz頻段的電磁屏蔽效能.測試與分析結果錶明:噹感性網柵膜在8～10 μm波段引起的平均透射率下降小于2％的情況下,電磁屏蔽效能平均達到瞭20 dB以上.結果顯示網柵的光電特性是矛盾的,線寬與週期越小電磁屏蔽效果越好,同時應儘量降低網柵的錶麵電阻.
재학보제작감성망책막후광학창홍외투사솔하강소우5％적전제하,연구료영향감성망책막전자병폐특성적주요인소.귀납료감성망책막홍외투사솔공식,운용함조항변계조건적보역Galerkin법추도료주기결구금속망책적전자장적분방정,용주기구량법계산출망책적반사계수급투사계수,진이구출기전자병폐효능；계산병분석료채용불동선관、주기、츤저재료、츤저후도시투명도전광창(금속망책막)적전자병폐효능.최후,채용격광직사、진공도막등공예재ZnS기저상제작료주기위360 μm×360μm、선관위12μm,방괴전조분별위13 Ω、25Ω적양편,채용자유공간법측시료2～18GHz빈단적전자병폐효능.측시여분석결과표명:당감성망책막재8～10 μm파단인기적평균투사솔하강소우2％적정황하,전자병폐효능평균체도료20 dB이상.결과현시망책적광전특성시모순적,선관여주기월소전자병폐효과월호,동시응진량강저망책적표면전조.
