光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
8期
1789-1795
,共7页
杨德兴%许增奇%姜宏振%付永辉%王骏%邵兆申%赵建林
楊德興%許增奇%薑宏振%付永輝%王駿%邵兆申%趙建林
양덕흥%허증기%강굉진%부영휘%왕준%소조신%조건림
数字全息干涉术%离轴菲涅耳全息术%电路板%弯曲形变
數字全息榦涉術%離軸菲涅耳全息術%電路闆%彎麯形變
수자전식간섭술%리축비열이전식술%전로판%만곡형변
采用离轴菲涅耳数字全息干涉术实现了对电路板表面的连续弯曲形变测量.在电路板两端依次施加0.01 mm至15 mm位移载荷过程中,记录了l 501幅全息图.通过相邻两幅全息图数值重建的复振幅相位分布相减得到干涉相位差,根据相位差与离面位移的关系计算得到照明测量区域的离面位移,通过累加获得了施加1～15 mm位移载荷时电路板表面的弯曲形变测量结果.由5块相同规格电路板上照明测量区域中同一电容中心点的离面位移,计算得到测量结果的A类不确定度不超过0.008 mm,加载夹具引起的测量结果的B类不确定度为0.003 5 mm,测量结果的合成不确定度不超过0.008 7 mm.实验表明这种利用离轴菲涅耳数字全息干涉术测量物体大位移连续弯曲形变的方法具有良好的重复性和稳定性.
採用離軸菲涅耳數字全息榦涉術實現瞭對電路闆錶麵的連續彎麯形變測量.在電路闆兩耑依次施加0.01 mm至15 mm位移載荷過程中,記錄瞭l 501幅全息圖.通過相鄰兩幅全息圖數值重建的複振幅相位分佈相減得到榦涉相位差,根據相位差與離麵位移的關繫計算得到照明測量區域的離麵位移,通過纍加穫得瞭施加1～15 mm位移載荷時電路闆錶麵的彎麯形變測量結果.由5塊相同規格電路闆上照明測量區域中同一電容中心點的離麵位移,計算得到測量結果的A類不確定度不超過0.008 mm,加載夾具引起的測量結果的B類不確定度為0.003 5 mm,測量結果的閤成不確定度不超過0.008 7 mm.實驗錶明這種利用離軸菲涅耳數字全息榦涉術測量物體大位移連續彎麯形變的方法具有良好的重複性和穩定性.
채용리축비열이수자전식간섭술실현료대전로판표면적련속만곡형변측량.재전로판량단의차시가0.01 mm지15 mm위이재하과정중,기록료l 501폭전식도.통과상린량폭전식도수치중건적복진폭상위분포상감득도간섭상위차,근거상위차여리면위이적관계계산득도조명측량구역적리면위이,통과루가획득료시가1～15 mm위이재하시전로판표면적만곡형변측량결과.유5괴상동규격전로판상조명측량구역중동일전용중심점적리면위이,계산득도측량결과적A류불학정도불초과0.008 mm,가재협구인기적측량결과적B류불학정도위0.003 5 mm,측량결과적합성불학정도불초과0.008 7 mm.실험표명저충이용리축비열이수자전식간섭술측량물체대위이련속만곡형변적방법구유량호적중복성화은정성.
