微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2004年
1期
73-80
,共8页
张永华%丁桂甫%蒋振新%蔡炳初%沈民谊
張永華%丁桂甫%蔣振新%蔡炳初%瀋民誼
장영화%정계보%장진신%채병초%침민의
微电子机械系统%开关%移相器%微波%毫米波
微電子機械繫統%開關%移相器%微波%毫米波
미전자궤계계통%개관%이상기%미파%호미파
微波与毫米波移相器是通讯和雷达应用上相控阵天线的基本单元,MEMS技术的引入提供了一个在移相器设计中用最小损耗的开关来大量减少移相器插入损耗的方法,该方法可以降低器件的功耗,改善插入损耗、隔离度、频带宽度等性能.相比于GaAs移相器,基于MEMS开关的射频移相器,无论是开关线型、分布式或是反射型,都有很好的RF性能.
微波與毫米波移相器是通訊和雷達應用上相控陣天線的基本單元,MEMS技術的引入提供瞭一箇在移相器設計中用最小損耗的開關來大量減少移相器插入損耗的方法,該方法可以降低器件的功耗,改善插入損耗、隔離度、頻帶寬度等性能.相比于GaAs移相器,基于MEMS開關的射頻移相器,無論是開關線型、分佈式或是反射型,都有很好的RF性能.
미파여호미파이상기시통신화뢰체응용상상공진천선적기본단원,MEMS기술적인입제공료일개재이상기설계중용최소손모적개관래대량감소이상기삽입손모적방법,해방법가이강저기건적공모,개선삽입손모、격리도、빈대관도등성능.상비우GaAs이상기,기우MEMS개관적사빈이상기,무론시개관선형、분포식혹시반사형,도유흔호적RF성능.
