人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2004年
5期
835-840
,共6页
宇慧平%隋允康%张峰翊%常新安%安国平
宇慧平%隋允康%張峰翊%常新安%安國平
우혜평%수윤강%장봉익%상신안%안국평
直拉单晶硅%紊流模型%晶体旋转%坩埚旋转
直拉單晶硅%紊流模型%晶體鏇轉%坩堝鏇轉
직랍단정규%문류모형%정체선전%감과선전
本文采用紊流模型对提拉大直径单晶硅时,对晶体旋转、坩埚旋转及二者共同作用三种情况下,熔体内的流线、等温线、氧的浓度分布、紊流粘性系数、紊动能等作了数值模拟,发现晶体的旋转能提高氧的径向均匀性,紊流粘性系数和紊动能随着坩埚转速的提高先增加后下降.晶体坩埚同时旋转时并不能有效降低紊流粘性系数,但能使子午面上的流动受到抑制,等温线更为平坦,有利于晶体生长.
本文採用紊流模型對提拉大直徑單晶硅時,對晶體鏇轉、坩堝鏇轉及二者共同作用三種情況下,鎔體內的流線、等溫線、氧的濃度分佈、紊流粘性繫數、紊動能等作瞭數值模擬,髮現晶體的鏇轉能提高氧的徑嚮均勻性,紊流粘性繫數和紊動能隨著坩堝轉速的提高先增加後下降.晶體坩堝同時鏇轉時併不能有效降低紊流粘性繫數,但能使子午麵上的流動受到抑製,等溫線更為平坦,有利于晶體生長.
본문채용문류모형대제랍대직경단정규시,대정체선전、감과선전급이자공동작용삼충정황하,용체내적류선、등온선、양적농도분포、문류점성계수、문동능등작료수치모의,발현정체적선전능제고양적경향균균성,문류점성계수화문동능수착감과전속적제고선증가후하강.정체감과동시선전시병불능유효강저문류점성계수,단능사자오면상적류동수도억제,등온선경위평탄,유리우정체생장.
