高等学校化学学报
高等學校化學學報
고등학교화학학보
CHEMICAL JOURNAL OF CHINESE UNIVERSITIES
2004年
9期
1613-1616
,共4页
SrBi2Ta2O9%溶胶-凝胶%铁电%薄膜
SrBi2Ta2O9%溶膠-凝膠%鐵電%薄膜
SrBi2Ta2O9%용효-응효%철전%박막
采用可溶性无机盐Sr(NO3)2,Bi(NO3)3及HTaF6为原料,以柠檬酸、乙二醇及乙二胺四乙酸(EDTA)为络合剂,利用溶胶-凝胶旋转涂覆工艺,分别在Al2O3和Pt/Ti/SiO2/Si的衬底上制备了SrBi2Ta2O9(SBT)铁电陶瓷薄膜.采用SEM,XRD及FTIR等微观分析手段,对制备的SBT溶胶与薄膜过程机理进行了实验研究.结果表明,由无机盐溶液原料络合合成SBT溶胶是此方法制膜的关键,其中络合剂的种类、用量和pH值的控制等是重要的影响因素.制备了相组成均一、薄膜表面致密、均匀、元开裂、晶粒尺寸为150 nm的多晶膜,获得了剩余极化(2Pr)与矫顽电场强度(2Ec)分别为9.6μC/cm2与76 kV/cm铁电性能较好的薄膜材料.
採用可溶性無機鹽Sr(NO3)2,Bi(NO3)3及HTaF6為原料,以檸檬痠、乙二醇及乙二胺四乙痠(EDTA)為絡閤劑,利用溶膠-凝膠鏇轉塗覆工藝,分彆在Al2O3和Pt/Ti/SiO2/Si的襯底上製備瞭SrBi2Ta2O9(SBT)鐵電陶瓷薄膜.採用SEM,XRD及FTIR等微觀分析手段,對製備的SBT溶膠與薄膜過程機理進行瞭實驗研究.結果錶明,由無機鹽溶液原料絡閤閤成SBT溶膠是此方法製膜的關鍵,其中絡閤劑的種類、用量和pH值的控製等是重要的影響因素.製備瞭相組成均一、薄膜錶麵緻密、均勻、元開裂、晶粒呎吋為150 nm的多晶膜,穫得瞭剩餘極化(2Pr)與矯頑電場彊度(2Ec)分彆為9.6μC/cm2與76 kV/cm鐵電性能較好的薄膜材料.
채용가용성무궤염Sr(NO3)2,Bi(NO3)3급HTaF6위원료,이저몽산、을이순급을이알사을산(EDTA)위락합제,이용용효-응효선전도복공예,분별재Al2O3화Pt/Ti/SiO2/Si적츤저상제비료SrBi2Ta2O9(SBT)철전도자박막.채용SEM,XRD급FTIR등미관분석수단,대제비적SBT용효여박막과정궤리진행료실험연구.결과표명,유무궤염용액원료락합합성SBT용효시차방법제막적관건,기중락합제적충류、용량화pH치적공제등시중요적영향인소.제비료상조성균일、박막표면치밀、균균、원개렬、정립척촌위150 nm적다정막,획득료잉여겁화(2Pr)여교완전장강도(2Ec)분별위9.6μC/cm2여76 kV/cm철전성능교호적박막재료.
