西北工业大学学报
西北工業大學學報
서북공업대학학보
JOURNAL OF NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY
2005年
3期
411-415
,共5页
吕湘连%苑伟政%李伟剑%霍鹏飞%姜澄宇
呂湘連%苑偉政%李偉劍%霍鵬飛%薑澄宇
려상련%원위정%리위검%곽붕비%강징우
MEMS%宏建模%Arnoldi算法%Taylor展开
MEMS%宏建模%Arnoldi算法%Taylor展開
MEMS%굉건모%Arnoldi산법%Taylor전개
微机电系统通常涉及机、电、流体、热等多个耦合能量域,其设计与分析需要通过宏建模来降低复杂度.论文根据系统传递函数矩匹配原理,提出将Arnoldi算法与Taylor展开相结合来实现MEMS器件行为的宏建模,建立了典型MEMS微梁的宏模型.与有限差分法相对比,该方法可以较准确地实现MEMS器件的快速动态仿真.
微機電繫統通常涉及機、電、流體、熱等多箇耦閤能量域,其設計與分析需要通過宏建模來降低複雜度.論文根據繫統傳遞函數矩匹配原理,提齣將Arnoldi算法與Taylor展開相結閤來實現MEMS器件行為的宏建模,建立瞭典型MEMS微樑的宏模型.與有限差分法相對比,該方法可以較準確地實現MEMS器件的快速動態倣真.
미궤전계통통상섭급궤、전、류체、열등다개우합능량역,기설계여분석수요통과굉건모래강저복잡도.논문근거계통전체함수구필배원리,제출장Arnoldi산법여Taylor전개상결합래실현MEMS기건행위적굉건모,건립료전형MEMS미량적굉모형.여유한차분법상대비,해방법가이교준학지실현MEMS기건적쾌속동태방진.
