石油勘探MEMS Sensor生产过程中工艺优化
석유감탐MEMS Sensor생산과정중공예우화
Technique Optimization in Production of Petroleum Exploration MEMS Sensor
  • 万方数据
    仪表技术与传感器 의표기술여전감기
    INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
    2005年 4期 58-59 ,共2页

    牛德芳%于国良%刘静%孙正鼐

    우덕방%우국량%류정%손정내

    MEMS%Sensor%氧化%光刻%刻蚀 MEMS%Sensor%氧化%光刻%刻蝕
    MEMS%Sensor%양화%광각%각식
    介绍一种新的电容式石油勘探MEMS Sensor生产过程中氧化、光刻、刻蚀主要工艺的选择原则和理论依据.
    개소일충신적전용식석유감탐MEMS Sensor생산과정중양화、광각、각식주요공예적선택원칙화이론의거.
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