中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2009年
4期
790-793
,共4页
侯立峰%钟景昌%赵英杰%郝永芹%冯源%谢浩锐%姜晓光
侯立峰%鐘景昌%趙英傑%郝永芹%馮源%謝浩銳%薑曉光
후립봉%종경창%조영걸%학영근%풍원%사호예%강효광
激光技术%垂直腔面发射激光器%湿法氧化%扫描电镜微区分析%氧化速率
激光技術%垂直腔麵髮射激光器%濕法氧化%掃描電鏡微區分析%氧化速率
격광기술%수직강면발사격광기%습법양화%소묘전경미구분석%양화속솔
为实现垂直腔面发射激光器(VCSEL)氧化孔径的精确控制,对垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的氧化速率规律进行了实验研究.在不同的温度下对垂直腔面发射激光器样品进行湿法氧化,氧化后采用扫描电镜(SEM)对氧化层不同氧化深度处生成物组成进行了微区分析.结果表明在不同氧化深度处氧化生成物各元素的组分含量不同,尤其氧元素的组分含量差别较大.分析和讨论了氧化不同阶段的反应类型和反应生成物,并建立了氧化速率随时间变化的数学模型,推导出在湿法氧化过程中,氧化速率随时间按指数规律变化,指出在一定的温度下,氧化时间越长,氧化速率越趋于稳定;适当降低氧化温度,延长氧化时间可提高氧化工艺的可控性与准确性.
為實現垂直腔麵髮射激光器(VCSEL)氧化孔徑的精確控製,對垂直腔麵髮射激光器濕法氧化工藝的氧化速率規律進行瞭實驗研究.在不同的溫度下對垂直腔麵髮射激光器樣品進行濕法氧化,氧化後採用掃描電鏡(SEM)對氧化層不同氧化深度處生成物組成進行瞭微區分析.結果錶明在不同氧化深度處氧化生成物各元素的組分含量不同,尤其氧元素的組分含量差彆較大.分析和討論瞭氧化不同階段的反應類型和反應生成物,併建立瞭氧化速率隨時間變化的數學模型,推導齣在濕法氧化過程中,氧化速率隨時間按指數規律變化,指齣在一定的溫度下,氧化時間越長,氧化速率越趨于穩定;適噹降低氧化溫度,延長氧化時間可提高氧化工藝的可控性與準確性.
위실현수직강면발사격광기(VCSEL)양화공경적정학공제,대수직강면발사격광기습법양화공예적양화속솔규률진행료실험연구.재불동적온도하대수직강면발사격광기양품진행습법양화,양화후채용소묘전경(SEM)대양화층불동양화심도처생성물조성진행료미구분석.결과표명재불동양화심도처양화생성물각원소적조분함량불동,우기양원소적조분함량차별교대.분석화토론료양화불동계단적반응류형화반응생성물,병건립료양화속솔수시간변화적수학모형,추도출재습법양화과정중,양화속솔수시간안지수규률변화,지출재일정적온도하,양화시간월장,양화속솔월추우은정;괄당강저양화온도,연장양화시간가제고양화공예적가공성여준학성.
