人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
2期
440-443,448
,共5页
付利刚%张福昌%魏乃光%赵永田%王学武%吕反修
付利剛%張福昌%魏迺光%趙永田%王學武%呂反脩
부리강%장복창%위내광%조영전%왕학무%려반수
原生CVD%ZnS%Zn-H络合物%吸收峰
原生CVD%ZnS%Zn-H絡閤物%吸收峰
원생CVD%ZnS%Zn-H락합물%흡수봉
原生CVD ZnS的特征之一是由于内部与S空位相关的Zn-H络合物的存在而在6.2 μm处形成吸收峰.相对较低的沉积温度和较高的沉积压力以及Zn/H2S是产生这一问题的主要原因.通过改进实验参数(沉积温度、沉积压力、Zn/H2S),能够制备出与经过HIP处理过的ZnS一样的无Zn-H络合物的原生ZnS.本文依据Zn-H络合物产生的原因对沉积温度、压力等作用机理进行了分析,总结出进一步提高CVD ZnS质量的方法.
原生CVD ZnS的特徵之一是由于內部與S空位相關的Zn-H絡閤物的存在而在6.2 μm處形成吸收峰.相對較低的沉積溫度和較高的沉積壓力以及Zn/H2S是產生這一問題的主要原因.通過改進實驗參數(沉積溫度、沉積壓力、Zn/H2S),能夠製備齣與經過HIP處理過的ZnS一樣的無Zn-H絡閤物的原生ZnS.本文依據Zn-H絡閤物產生的原因對沉積溫度、壓力等作用機理進行瞭分析,總結齣進一步提高CVD ZnS質量的方法.
원생CVD ZnS적특정지일시유우내부여S공위상관적Zn-H락합물적존재이재6.2 μm처형성흡수봉.상대교저적침적온도화교고적침적압력이급Zn/H2S시산생저일문제적주요원인.통과개진실험삼수(침적온도、침적압력、Zn/H2S),능구제비출여경과HIP처리과적ZnS일양적무Zn-H락합물적원생ZnS.본문의거Zn-H락합물산생적원인대침적온도、압력등작용궤리진행료분석,총결출진일보제고CVD ZnS질량적방법.
