红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2011年
2期
96-99
,共4页
耿东锋%王海珍%李明华%郑克霖
耿東鋒%王海珍%李明華%鄭剋霖
경동봉%왕해진%리명화%정극림
焦平面器件%腐蚀%抗反射膜
焦平麵器件%腐蝕%抗反射膜
초평면기건%부식%항반사막
InSb焦平面器件经过减薄后,表面有细微的划痕,且存在一定厚度的损伤层,影响芯片性能.通过对InSb焦平面器件表面末处理工艺方法的探索,确定了器件抛光后,去除表面损伤层和表面溅射ZnS抗反射膜的工艺实施方案,有效地改善了器件的表面质量,提高了焦平面器件的性能.
InSb焦平麵器件經過減薄後,錶麵有細微的劃痕,且存在一定厚度的損傷層,影響芯片性能.通過對InSb焦平麵器件錶麵末處理工藝方法的探索,確定瞭器件拋光後,去除錶麵損傷層和錶麵濺射ZnS抗反射膜的工藝實施方案,有效地改善瞭器件的錶麵質量,提高瞭焦平麵器件的性能.
InSb초평면기건경과감박후,표면유세미적화흔,차존재일정후도적손상층,영향심편성능.통과대InSb초평면기건표면말처리공예방법적탐색,학정료기건포광후,거제표면손상층화표면천사ZnS항반사막적공예실시방안,유효지개선료기건적표면질량,제고료초평면기건적성능.
