传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
7期
23-25,29
,共4页
温度传感器%冗余设计%响应时间%可靠寿命
溫度傳感器%冗餘設計%響應時間%可靠壽命
온도전감기%용여설계%향응시간%가고수명
为了提高Pt温度传感器的响应时间和可靠性水平,设计了一种MEMS冗余结构的新型温度传感器.结构基体采用可微加工0.1mm厚的γ-Al2O3陶瓷；敏感薄膜由磁控溅射沉积而成,并采用离子束刻蚀方法加工成标准阻值.分析和测试表明:传感器输出与温度变化呈线性关系,空气状态下的90％响应时间小于60 s,在-20～180℃温区内非线性小于0.01％.采用二单元冗余设计的并联工作方式可有效提高传感器的可靠水平.
為瞭提高Pt溫度傳感器的響應時間和可靠性水平,設計瞭一種MEMS冗餘結構的新型溫度傳感器.結構基體採用可微加工0.1mm厚的γ-Al2O3陶瓷；敏感薄膜由磁控濺射沉積而成,併採用離子束刻蝕方法加工成標準阻值.分析和測試錶明:傳感器輸齣與溫度變化呈線性關繫,空氣狀態下的90％響應時間小于60 s,在-20～180℃溫區內非線性小于0.01％.採用二單元冗餘設計的併聯工作方式可有效提高傳感器的可靠水平.
위료제고Pt온도전감기적향응시간화가고성수평,설계료일충MEMS용여결구적신형온도전감기.결구기체채용가미가공0.1mm후적γ-Al2O3도자；민감박막유자공천사침적이성,병채용리자속각식방법가공성표준조치.분석화측시표명:전감기수출여온도변화정선성관계,공기상태하적90％향응시간소우60 s,재-20～180℃온구내비선성소우0.01％.채용이단원용여설계적병련공작방식가유효제고전감기적가고수평.
