微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2002年
6期
28-31
,共4页
何洪涛%杨拥军%徐永青%吝海锋
何洪濤%楊擁軍%徐永青%吝海鋒
하홍도%양옹군%서영청%인해봉
悬臂梁%电容式加速度计%高g%微电子机械系统
懸臂樑%電容式加速度計%高g%微電子機械繫統
현비량%전용식가속도계%고g%미전자궤계계통
高g加速度计具有高过载、高响应速度、高环境压力以及体积小和价格低等特点.我们开发的新型电容式加速度计,具有10万g的量程,能够实现高g环境下的加速度测量,满足了用户的要求.基于有限元模拟和经验数值结合的办法,在大量程和灵敏度之间综合考虑,确定了高g的设计思路,并采用硅溶片工艺制备了满足设计要求的MEMS加速度计.
高g加速度計具有高過載、高響應速度、高環境壓力以及體積小和價格低等特點.我們開髮的新型電容式加速度計,具有10萬g的量程,能夠實現高g環境下的加速度測量,滿足瞭用戶的要求.基于有限元模擬和經驗數值結閤的辦法,在大量程和靈敏度之間綜閤攷慮,確定瞭高g的設計思路,併採用硅溶片工藝製備瞭滿足設計要求的MEMS加速度計.
고g가속도계구유고과재、고향응속도、고배경압력이급체적소화개격저등특점.아문개발적신형전용식가속도계,구유10만g적량정,능구실현고g배경하적가속도측량,만족료용호적요구.기우유한원모의화경험수치결합적판법,재대량정화령민도지간종합고필,학정료고g적설계사로,병채용규용편공예제비료만족설계요구적MEMS가속도계.
