物理汽相生长并五苯晶体薄膜
물리기상생장병오분정체박막
Physical Vapor Growth of Pentacene Crystal Thin Films
  • 万方数据
    半导体光电 반도체광전
    SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
    2002年 6期 418-420 ,共3页

    张素梅%石家纬%刘建军%刘明大%郭树旭%王伟%赵玲%李靖

    장소매%석가위%류건군%류명대%곽수욱%왕위%조령%리정

    物理汽相沉积%晶体薄膜%并五苯 物理汽相沉積%晶體薄膜%併五苯
    물리기상침적%정체박막%병오분
    用物理汽相沉积法在水平系统中生长有机半导体并五苯晶体薄膜.用10～30毫克的源生长出20～30 mm2大小的适合特性测量和器件制备的晶体薄膜.利用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和X射线衍射仪(XRD)等仪器对并五苯晶体薄膜进行了测试分析.
    용물리기상침적법재수평계통중생장유궤반도체병오분정체박막.용10～30호극적원생장출20～30 mm2대소적괄합특성측량화기건제비적정체박막.이용소묘전경(SEM)、투사전경(TEM)화X사선연사의(XRD)등의기대병오분정체박막진행료측시분석.
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