功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
2期
389-393
,共5页
李佳言%张金龙%林秋丰%曾全佑%傅龙明
李佳言%張金龍%林鞦豐%曾全祐%傅龍明
리가언%장금룡%림추봉%증전우%부룡명
苯%三氧化钨%磁控溅镀%微机电制程%气体传感器
苯%三氧化鎢%磁控濺鍍%微機電製程%氣體傳感器
분%삼양화오%자공천도%미궤전제정%기체전감기
本文利用微机电(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)制程制作成三氧化钨薄膜苯气体传感器,其结构包含三氧化钨(WO3)感测层、白金(Pt)指叉式电极(包括加热及感测两部分).利用RF溅渡方式沉积出三氧化钨薄膜,再由退火处理来得到较多的孔洞结构来提升传感器的灵敏度,并使用蒸镀(E-beam)方式制作白金指叉式电极.再将微型传感器置于气体检测箱在200℃、250℃及300℃不同操作温度下观察苯浓度与感测层电阻值间的变化关系.
本文利用微機電(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)製程製作成三氧化鎢薄膜苯氣體傳感器,其結構包含三氧化鎢(WO3)感測層、白金(Pt)指扠式電極(包括加熱及感測兩部分).利用RF濺渡方式沉積齣三氧化鎢薄膜,再由退火處理來得到較多的孔洞結構來提升傳感器的靈敏度,併使用蒸鍍(E-beam)方式製作白金指扠式電極.再將微型傳感器置于氣體檢測箱在200℃、250℃及300℃不同操作溫度下觀察苯濃度與感測層電阻值間的變化關繫.
본문이용미궤전(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)제정제작성삼양화오박막분기체전감기,기결구포함삼양화오(WO3)감측층、백금(Pt)지차식전겁(포괄가열급감측량부분).이용RF천도방식침적출삼양화오박막,재유퇴화처리래득도교다적공동결구래제승전감기적령민도,병사용증도(E-beam)방식제작백금지차식전겁.재장미형전감기치우기체검측상재200℃、250℃급300℃불동조작온도하관찰분농도여감측층전조치간적변화관계.
