中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2009年
2期
439-443
,共5页
邓元龙%李岳峙%吴玉斌%徐刚
鄧元龍%李嶽峙%吳玉斌%徐剛
산원룡%리악치%오옥빈%서강
测量%干涉式椭偏术%误差分析%金属反射镜%退偏效应%方位角误差
測量%榦涉式橢偏術%誤差分析%金屬反射鏡%退偏效應%方位角誤差
측량%간섭식타편술%오차분석%금속반사경%퇴편효응%방위각오차
采用声光调制器设计了一种透射式外差干涉椭偏测量系统.实验测量了单层透明氧化铟锡(ITO)膜,膜厚和折射率测量误差分别达8nm和7%.采用琼斯矢量法分析了金属反射镜引起的光束椭偏化对测量结果的影响.从光学系统中移出被测样品得到的标定数据,可以消除金属反射镜本身退偏效应的影响,但无法消除退偏效应和方位角误差共同作用所引入的椭偏参数测量误差.计算结果表明,退偏效应和方位角误差共同作用引入的膜厚测量误差可达4 nm左右,该误差与薄膜参数无关,与方位角误差近似成线性关系.
採用聲光調製器設計瞭一種透射式外差榦涉橢偏測量繫統.實驗測量瞭單層透明氧化銦錫(ITO)膜,膜厚和摺射率測量誤差分彆達8nm和7%.採用瓊斯矢量法分析瞭金屬反射鏡引起的光束橢偏化對測量結果的影響.從光學繫統中移齣被測樣品得到的標定數據,可以消除金屬反射鏡本身退偏效應的影響,但無法消除退偏效應和方位角誤差共同作用所引入的橢偏參數測量誤差.計算結果錶明,退偏效應和方位角誤差共同作用引入的膜厚測量誤差可達4 nm左右,該誤差與薄膜參數無關,與方位角誤差近似成線性關繫.
채용성광조제기설계료일충투사식외차간섭타편측량계통.실험측량료단층투명양화인석(ITO)막,막후화절사솔측량오차분별체8nm화7%.채용경사시량법분석료금속반사경인기적광속타편화대측량결과적영향.종광학계통중이출피측양품득도적표정수거,가이소제금속반사경본신퇴편효응적영향,단무법소제퇴편효응화방위각오차공동작용소인입적타편삼수측량오차.계산결과표명,퇴편효응화방위각오차공동작용인입적막후측량오차가체4 nm좌우,해오차여박막삼수무관,여방위각오차근사성선성관계.
