激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2009年
2期
159-161,216
,共4页
梁德春%李清山%孙方华%李新坤%宗磊
樑德春%李清山%孫方華%李新坤%宗磊
량덕춘%리청산%손방화%리신곤%종뢰
薄膜%光电探测器%脉冲激光沉积%响应特性
薄膜%光電探測器%脈遲激光沉積%響應特性
박막%광전탐측기%맥충격광침적%향응특성
为了研究不同结构光电探测器的光响应特性,采用脉冲激光沉积技术在玻璃衬底上制备了ZnO基紫外探测器.X射线衍射谱、扫描电子显微镜和光致发光光谱显示,ZnO膜为多晶结构,表面平整,并具有良好的化学配比.比较平面结构探测器和夹层式探测器的光响应特性可知,探测器结构对光电探测特性具有重要影响.结果表明,平面结构探测器中的电极宽度引起响应时间和响应度之间的竞争,而具有透明电极氧化铟锡的夹层式探测器则不存在这一问题.
為瞭研究不同結構光電探測器的光響應特性,採用脈遲激光沉積技術在玻璃襯底上製備瞭ZnO基紫外探測器.X射線衍射譜、掃描電子顯微鏡和光緻髮光光譜顯示,ZnO膜為多晶結構,錶麵平整,併具有良好的化學配比.比較平麵結構探測器和夾層式探測器的光響應特性可知,探測器結構對光電探測特性具有重要影響.結果錶明,平麵結構探測器中的電極寬度引起響應時間和響應度之間的競爭,而具有透明電極氧化銦錫的夾層式探測器則不存在這一問題.
위료연구불동결구광전탐측기적광향응특성,채용맥충격광침적기술재파리츤저상제비료ZnO기자외탐측기.X사선연사보、소묘전자현미경화광치발광광보현시,ZnO막위다정결구,표면평정,병구유량호적화학배비.비교평면결구탐측기화협층식탐측기적광향응특성가지,탐측기결구대광전탐측특성구유중요영향.결과표명,평면결구탐측기중적전겁관도인기향응시간화향응도지간적경쟁,이구유투명전겁양화인석적협층식탐측기칙불존재저일문제.
