工程热物理学报
工程熱物理學報
공정열물이학보
JOURNAL OF ENGINEERING THERMOPHYSICS
2009年
2期
285-287
,共3页
严格耦合波分析%热辐射%薄膜结构%电磁表面波
嚴格耦閤波分析%熱輻射%薄膜結構%電磁錶麵波
엄격우합파분석%열복사%박막결구%전자표면파
本文利用严格耦合波分析(RCWA)的方法数值求解并分析了一个半导体硅和金属银组成的复合薄膜结构,该结构的界面处具有一维周期性的微槽结构.结果显示,微槽结构的存在大大增强了该复合薄膜结构在硅能隙对应波长附近的光谱吸收比/发射率,而在波长大于能隙波长区域仍然保持较低吸收比/发射率.增强原因是由于界面处的电磁表面波(electromagnetic surface wave)被激发以及微槽多阶衍射波的相互作用的结果.通过调整微槽的几何尺寸可对该复合薄膜结构的吸收比/发射率进行优化.这种结构在光电能量转换系统中有潜在用处.
本文利用嚴格耦閤波分析(RCWA)的方法數值求解併分析瞭一箇半導體硅和金屬銀組成的複閤薄膜結構,該結構的界麵處具有一維週期性的微槽結構.結果顯示,微槽結構的存在大大增彊瞭該複閤薄膜結構在硅能隙對應波長附近的光譜吸收比/髮射率,而在波長大于能隙波長區域仍然保持較低吸收比/髮射率.增彊原因是由于界麵處的電磁錶麵波(electromagnetic surface wave)被激髮以及微槽多階衍射波的相互作用的結果.通過調整微槽的幾何呎吋可對該複閤薄膜結構的吸收比/髮射率進行優化.這種結構在光電能量轉換繫統中有潛在用處.
본문이용엄격우합파분석(RCWA)적방법수치구해병분석료일개반도체규화금속은조성적복합박막결구,해결구적계면처구유일유주기성적미조결구.결과현시,미조결구적존재대대증강료해복합박막결구재규능극대응파장부근적광보흡수비/발사솔,이재파장대우능극파장구역잉연보지교저흡수비/발사솔.증강원인시유우계면처적전자표면파(electromagnetic surface wave)피격발이급미조다계연사파적상호작용적결과.통과조정미조적궤하척촌가대해복합박막결구적흡수비/발사솔진행우화.저충결구재광전능량전환계통중유잠재용처.
