真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
2期
208-211
,共4页
氦质谱检漏%低浓度%检漏灵敏度%内置氦源
氦質譜檢漏%低濃度%檢漏靈敏度%內置氦源
양질보검루%저농도%검루령민도%내치양원
为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题,开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验.实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器,在容器内的氦气浓度为0.5‰,1‰,3‰,5‰时分别实测了混合气体中氦气通过漏孔的漏率,基于混合气体以同种比分通过分子流漏孔的假设,不同浓度下测得的漏率结果与理论计算相比较;实验得出了在一定体积的空间内定点释放少量的氦气自由扩散至基本均匀分布所需时间.在实验的基础上,专门设计低充氦浓度检漏的标定装置,可降低因标准漏孔的氦浓度与检漏充氦浓度相差较大而引入检漏结果的不确定度.
為解決不允許抽真空和充壓的密封裝置的密封性能檢測問題,開展瞭較低充氦濃度的氦質譜檢漏模擬實驗.實驗採用通道型標準漏孔和模擬密封容器,在容器內的氦氣濃度為0.5‰,1‰,3‰,5‰時分彆實測瞭混閤氣體中氦氣通過漏孔的漏率,基于混閤氣體以同種比分通過分子流漏孔的假設,不同濃度下測得的漏率結果與理論計算相比較;實驗得齣瞭在一定體積的空間內定點釋放少量的氦氣自由擴散至基本均勻分佈所需時間.在實驗的基礎上,專門設計低充氦濃度檢漏的標定裝置,可降低因標準漏孔的氦濃度與檢漏充氦濃度相差較大而引入檢漏結果的不確定度.
위해결불윤허추진공화충압적밀봉장치적밀봉성능검측문제,개전료교저충양농도적양질보검루모의실험.실험채용통도형표준루공화모의밀봉용기,재용기내적양기농도위0.5‰,1‰,3‰,5‰시분별실측료혼합기체중양기통과루공적루솔,기우혼합기체이동충비분통과분자류루공적가설,불동농도하측득적루솔결과여이론계산상비교;실험득출료재일정체적적공간내정점석방소량적양기자유확산지기본균균분포소수시간.재실험적기출상,전문설계저충양농도검루적표정장치,가강저인표준루공적양농도여검루충양농도상차교대이인입검루결과적불학정도.
