西北师范大学学报（自然科学版）
西北師範大學學報（自然科學版）
서북사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NORTHWEST NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2012年
6期
30-35
,共6页
马书懿%张小雷%杨付超%黄新丽%马李刚%李发明%赵强%刘静
馬書懿%張小雷%楊付超%黃新麗%馬李剛%李髮明%趙彊%劉靜
마서의%장소뢰%양부초%황신려%마리강%리발명%조강%류정
ZnO薄膜%TiO2缓冲层%退火气氛%光致发光谱
ZnO薄膜%TiO2緩遲層%退火氣氛%光緻髮光譜
ZnO박막%TiO2완충층%퇴화기분%광치발광보
采用射频磁控溅射法制备了ZnO/TiO2/Si薄膜,研究了TiO2缓冲层的不同退火气氛对ZnO薄膜的影响.利用X射线衍射分析(XRD)、紫外-可见分光光度计和荧光分光光度计等技术表征了ZnO/TiO2/Si薄膜的微结构和光学特性.XRD结果表明:沉积在经过O2退火缓冲层上的ZnO薄膜具有最好的c轴择优取向;透射吸收谱显示所有ZnO薄膜在可见光区域的平均透过率超过90％;引入未退火缓冲层后薄膜的光学带隙值增大,而缓冲层在真空、氧气进行退火后薄膜的光学带隙值均减小.薄膜的光致发光谱显示:所有样品出现了位于400 nm,450 nm和530 nm的紫光峰、蓝光峰和绿光峰,并对各发光峰的来源进行了探讨.
採用射頻磁控濺射法製備瞭ZnO/TiO2/Si薄膜,研究瞭TiO2緩遲層的不同退火氣氛對ZnO薄膜的影響.利用X射線衍射分析(XRD)、紫外-可見分光光度計和熒光分光光度計等技術錶徵瞭ZnO/TiO2/Si薄膜的微結構和光學特性.XRD結果錶明:沉積在經過O2退火緩遲層上的ZnO薄膜具有最好的c軸擇優取嚮;透射吸收譜顯示所有ZnO薄膜在可見光區域的平均透過率超過90％;引入未退火緩遲層後薄膜的光學帶隙值增大,而緩遲層在真空、氧氣進行退火後薄膜的光學帶隙值均減小.薄膜的光緻髮光譜顯示:所有樣品齣現瞭位于400 nm,450 nm和530 nm的紫光峰、藍光峰和綠光峰,併對各髮光峰的來源進行瞭探討.
채용사빈자공천사법제비료ZnO/TiO2/Si박막,연구료TiO2완충층적불동퇴화기분대ZnO박막적영향.이용X사선연사분석(XRD)、자외-가견분광광도계화형광분광광도계등기술표정료ZnO/TiO2/Si박막적미결구화광학특성.XRD결과표명:침적재경과O2퇴화완충층상적ZnO박막구유최호적c축택우취향;투사흡수보현시소유ZnO박막재가견광구역적평균투과솔초과90％;인입미퇴화완충층후박막적광학대극치증대,이완충층재진공、양기진행퇴화후박막적광학대극치균감소.박막적광치발광보현시:소유양품출현료위우400 nm,450 nm화530 nm적자광봉、람광봉화록광봉,병대각발광봉적래원진행료탐토.
