稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2003年
2期
99-102
,共4页
陶甫廷%王敬义%何笑明%王宇%尹盛
陶甫廷%王敬義%何笑明%王宇%尹盛
도보정%왕경의%하소명%왕우%윤성
薄膜生长%反应粒子输运%生长速率
薄膜生長%反應粒子輸運%生長速率
박막생장%반응입자수운%생장속솔
列出了各类粒子的产生、输运和它们同靶表面反应的速率方程,并计及高能中性粒子对靶面溅射的剥离速率方程.有关方程耦合后求解溅射速率与气体流量和放电电流的关系.本文强调反应粒子的反应碰撞,论述了从粒子输运出发探讨薄膜生长方法的优点.
列齣瞭各類粒子的產生、輸運和它們同靶錶麵反應的速率方程,併計及高能中性粒子對靶麵濺射的剝離速率方程.有關方程耦閤後求解濺射速率與氣體流量和放電電流的關繫.本文彊調反應粒子的反應踫撞,論述瞭從粒子輸運齣髮探討薄膜生長方法的優點.
렬출료각류입자적산생、수운화타문동파표면반응적속솔방정,병계급고능중성입자대파면천사적박리속솔방정.유관방정우합후구해천사속솔여기체류량화방전전류적관계.본문강조반응입자적반응팽당,논술료종입자수운출발탐토박막생장방법적우점.
