原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2000年
4期
307-313
,共7页
RF共振%离子引出%AVLIS%PIC模拟
RF共振%離子引齣%AVLIS%PIC模擬
RF공진%리자인출%AVLIS%PIC모의
为了探索用于AVLIS的更为有效的离子引出方法,对等离子体的RF共振离子引出方法进行了理论研究,用PIC方法对其进行了模拟.结果表明:在弱磁场下可产生鞘层-等离子体振荡,其振荡频率与理论一致;外加与振荡频率一致的交流电压后将发生共振,其振荡幅度大幅增加,电流加大,共振在等离子体中产生的最大电位幅度可高于外加电压幅度几倍;与离子引出方法中传统的平行板电场相比,RF共振法使得引出的离子流加大,离子引出时间显著缩短.若达到同样的引出时间,共振频率的交流电压的幅度可比直流电压值小一个量级.
為瞭探索用于AVLIS的更為有效的離子引齣方法,對等離子體的RF共振離子引齣方法進行瞭理論研究,用PIC方法對其進行瞭模擬.結果錶明:在弱磁場下可產生鞘層-等離子體振盪,其振盪頻率與理論一緻;外加與振盪頻率一緻的交流電壓後將髮生共振,其振盪幅度大幅增加,電流加大,共振在等離子體中產生的最大電位幅度可高于外加電壓幅度幾倍;與離子引齣方法中傳統的平行闆電場相比,RF共振法使得引齣的離子流加大,離子引齣時間顯著縮短.若達到同樣的引齣時間,共振頻率的交流電壓的幅度可比直流電壓值小一箇量級.
위료탐색용우AVLIS적경위유효적리자인출방법,대등리자체적RF공진리자인출방법진행료이론연구,용PIC방법대기진행료모의.결과표명:재약자장하가산생초층-등리자체진탕,기진탕빈솔여이론일치;외가여진탕빈솔일치적교류전압후장발생공진,기진탕폭도대폭증가,전류가대,공진재등리자체중산생적최대전위폭도가고우외가전압폭도궤배;여리자인출방법중전통적평행판전장상비,RF공진법사득인출적리자류가대,리자인출시간현저축단.약체도동양적인출시간,공진빈솔적교류전압적폭도가비직류전압치소일개량급.
