CAJ | 학술논문

用工业型脉冲等离子体增强化学气相沉积设备,在550℃的高速钢基材表面沉积由纳米晶TiN,纳米非晶Si3N4以及纳米或非晶TiSi2组成的复相薄膜.通过改变氯化物混合比例调节薄膜的成分.薄膜中的Si含量在0 at%～35 at%范围内变化.结果表明,当加入少量Si元素后,由于非晶相的产生,TiN薄膜的耐腐蚀性能显著提高,并在一定Si含量的薄膜中发生了负腐蚀现象.但由于Si的低导电性能,致使高硅含量薄膜颗粒粗大,因此更高Si含量薄膜的耐腐蚀性能又有所下降.
용공업형맥충등리자체증강화학기상침적설비,재550℃적고속강기재표면침적유납미정TiN,납미비정Si3N4이급납미혹비정TiSi2조성적복상박막.통과개변록화물혼합비례조절박막적성분.박막중적Si함량재0 at%～35 at%범위내변화.결과표명,당가입소량Si원소후,유우비정상적산생,TiN박막적내부식성능현저제고,병재일정Si함량적박막중발생료부부식현상.단유우Si적저도전성능,치사고규함량박막과립조대,인차경고Si함량박막적내부식성능우유소하강.