硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2004年
11期
1425-1429
,共5页
王锐%黄永攀%罗丽明%浦坦%李道火
王銳%黃永攀%囉麗明%浦坦%李道火
왕예%황영반%라려명%포탄%리도화
氮化硅%激光诱导化学气相沉积法%双光束激励%游离硅
氮化硅%激光誘導化學氣相沉積法%雙光束激勵%遊離硅
담화규%격광유도화학기상침적법%쌍광속격려%유리규
介绍了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工艺原理.通过增加正交紫外光束激励NH3分解,提高气相中n(N)/n(Si)比,从而减少产物中游离硅的浓度,制备出粒径7～15 nm的无团聚、理想化学剂量[n(N)/n(Si)=1.314]的非晶纳米氮化硅粉体.用透射电子显微镜观察了粉体形貌,并指出表面效应和量子尺寸效应导致粉体红外吸收光谱的蓝移和宽化以及Raman光谱的蓝移现象.
介紹瞭激光誘導化學氣相沉積法製備納米氮化硅的工藝原理.通過增加正交紫外光束激勵NH3分解,提高氣相中n(N)/n(Si)比,從而減少產物中遊離硅的濃度,製備齣粒徑7～15 nm的無糰聚、理想化學劑量[n(N)/n(Si)=1.314]的非晶納米氮化硅粉體.用透射電子顯微鏡觀察瞭粉體形貌,併指齣錶麵效應和量子呎吋效應導緻粉體紅外吸收光譜的藍移和寬化以及Raman光譜的藍移現象.
개소료격광유도화학기상침적법제비납미담화규적공예원리.통과증가정교자외광속격려NH3분해,제고기상중n(N)/n(Si)비,종이감소산물중유리규적농도,제비출립경7～15 nm적무단취、이상화학제량[n(N)/n(Si)=1.314]적비정납미담화규분체.용투사전자현미경관찰료분체형모,병지출표면효응화양자척촌효응도치분체홍외흡수광보적람이화관화이급Raman광보적람이현상.
